半导体发光器件的制作方法技术资料下载

技术编号:7180631

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本发明实施方案涉及半导体发光器件。 背景技术III-V族氮化物半导体已经广泛用于光学器件例如蓝色和绿色发光二极管 (LED)、高速开关器件、例如M0SFET(金属-半导体场效应晶体管)和HEMT(异质结场效应 晶体管)以及照明器件或者显示器件的光源。 氮化物半导体主要用于LED或者LD(激光二极管),已经持续进行研究来改善氮化 物半导体的制造工艺或者光效率。 发明内容 本发明实施方案提供一种能够分离芯片而无需实施隔离蚀刻工艺的半导体发光 器件。 本发明实施...
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