技术编号：7181434
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于半导体设备上多种化学品的分类排放或回收的装置，具体为一 种多种化学品分类排放回收系统，在工艺处理单元的化学品使用后，对要排放的多种化 学品进行自动分类排放或回收，多用于半导体制成的显影设备清洗设备刻蚀设备等。背景技术目前，随着在半导体制成的多样化设备中很多清洗刻蚀显影等设备的工艺很复 杂，制程中需要使用多种化学品，有的化学品价格昂贵，使用一次后就直接排放造成浪 费，还有一些化学品相互之间不能混合排放，否则会造成危险，或是对工厂的排废系统 造成...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。