专利名称：多种化学品分类排放回收系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及用于半导体设备上多种化学品的分类排放或回收的装置，具体为一 种多种化学品分类排放回收系统，在工艺处理单元的化学品使用后，对要排放的多种化 学品进行自动分类排放或回收，多用于半导体制成的显影设备清洗设备刻蚀设备等。
背景技术：
目前，随着在半导体制成的多样化设备中很多清洗刻蚀显影等设备的工艺很复 杂，制程中需要使用多种化学品，有的化学品价格昂贵，使用一次后就直接排放造成浪 费，还有一些化学品相互之间不能混合排放，否则会造成危险，或是对工厂的排废系统 造成腐蚀危害，使机台对不同工艺制品的工艺制成不完全适用。
发明内容
为了克服直接排放浪费，解决再回收利用和多种化学品分类排放的问题，本发 明的目的在于提供一种多种化学品分类排放回收系统，它是废液自动分类排放回收系 统，可以充分解决上述问题。本发明的技术方案是一种多种化学品分类排放回收系统，该系统设有排放废液收集管、分类排放 管、旋转电机、旋转支臂，排放废液收集管安装于旋转支臂上，旋转支臂与分类排放废 液管支架上的旋转电机通过轴承连接，旋转电机通过驱动旋转支臂旋转带动排放废液收 集管与相应的分类排放管对应。所述的多种化学品分类排放回收系统，还设有防漏液收集盘，防漏液收集盘为 环形槽结构，分类排放管设置于防漏液收集盘的环形槽内。所述的多种化学品分类排放回收系统，分类排放管底部的排放口分别与相应的 可回收废液桶或不可回收液体直排管道连通。所述的多种化学品分类排放回收系统，该系统固定在最底部的旋转轴承上，整 体系统以旋转轴承为支点在360度范围内旋转。所述的多种化学品分类排放回收系统，可回收废液桶设置于该系统的可旋转底 板上，在可旋转底板的底部设有上限位挡块，整体系统的下方设有与上限位挡块旋转方 向相应的下限位挡块。本发明的有益效果是1、本发明结构巧妙，在不耽误机台设备正常运转的情况下，自动的对各种使用 的多种化学品进行分类排放，操作简单，使设备能适用更多重的工艺制程，而且还有效 地将价格昂贵的化学品单独回收后再利用，从而节省资金。2、本发明在工艺单元下部安装排液管路，利用电机控制排液的排液路径，电机 转动停止位置由定位传感器精确定位。当上部的工艺单元使用一种化学品时，其供应 系统通讯其指定的排放传感器工作，电机驱动排液管转动，到指定位置后停止，废液排放。当使用另一种化学品时，电机自动驱动排液管转到另一指定的位置进行排液，从而 实现不同化学品分类排放的目的，整体部分可以随意转动一周，便于操作人员对回收桶 的取放。3、本发明整体系统设有泄露检测、液位检测、液体排放检测等，结构简单、实用。
图1本发明立体结构图(省略部分可回收废液桶4)。图2是本发明的主视图。图中，1排放废液收集管；2分类排放管；3旋转电机；4可回收废液桶；5连接 固定盘；6可旋转底板；7旋转支臂；8防漏液收集盘；9不可回收液体直排管道；10上 限位挡块；11下限位挡块；12旋转轴承；13液位传感器；14分类排放废液管支架；15 机台。
具体实施例方式下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。如图1-图2所示，本发明多种化学品分类排放回收系统主要包括排放废液收集 管1、分类排放管2、旋转电机3、可回收废液桶4、连接固定盘5、可旋转底板6、旋转 支臂7、防漏液收集盘8、不可回收液体直排管道9、上限位挡块10、下限位挡块11、旋 转轴承12、液位传感器13、分类排放废液管支架14等，具体结构如下排放废液收集管1安装于旋转支臂7上，旋转支臂7与分类排放废液管支架14 上的旋转电机3通过轴承连接，旋转电机3通过分类排放废液管支架14的连接固定盘5 支撑，旋转电机3通过驱动旋转支臂7旋转带动排放废液收集管1与指定的分类排放管2 相对应。防漏液收集盘8为环形槽结构，分类排放管2设置于防漏液收集盘8的环形槽 内，分类排放管2底部的排放口分别与相应的可回收废液桶4或不可回收液体直排管道9 连通，在可回收废液桶4中安装液位传感器13，可回收废液桶4设置于该系统的可旋转底 板6上。本实施例中，分类排放管2为六个，其中五个分类排放管2分别与可回收废液桶 4相对应另外一个分类排放管2与不可回收液体直排管道9连通。本发明中，整体系统固定在最底部(即可旋转底板6的底部)的旋转轴承12上， 整体系统以旋转轴承12为支点在360度范围内旋转。分类排放废液管支架14安装于可 旋转底板6上，在可旋转底板6的底部还设有上限位挡块10，整体系统的下方设有与上限 位挡块10旋转方向相应的下限位挡块11，通过上限位挡块10和下限位挡块11配合，限 制整体系统的旋转角度。本发明的工作过程如下在图1中，当上部的工艺单元工作时，无论要使用何种化学品，旋转电机3会通 过指令驱动旋转支臂7带着排放废液收集管1旋转到指定的、分类排放管2的废液排放 口，废旧化学品利用后，通过排放废液收集管1流下，经过分类排放管2排放到指定的地 方。如果是可回收的化学品，则直接排放到相应的可回收废液桶4内。如果是不可回收的废液，则可直径通过不可回收液体直排管道9排放到工厂废液管道中去，旋转电机3是 通过分类排放废液管支架14的连接固定盘5来支撑的，整体系统固定在最底部的旋转轴 承12上，整体系统可以旋转轴承12为支点旋转360度，为防止旋转圈数过多使相关电缆 和管路盘绕，通过上限位挡块10和下限位挡块11来限制，上限位挡块10固定在可旋转 底板6的底部，下限位挡块11固定在机台15(清洗刻蚀显影等设备的机台，位于本发明 整体系统的下方)上。当排放废液收集管1旋转过程中，管道内部的残留液体会落在防 漏液收集盘8中，这样就避免液体泄漏。当液体排到一定量后，为了防止超量从可回收 废液桶4中溢出，要在可回收废液桶4中安装液位传感器13，用以检测收集量，每种可回 收废液桶4和对应的分类排放管2位置是相对不变的。 通过上述方案，可以克服直接排放浪费，解决再回收利用和多种化学品分类排 放的问题。
权利要求
1.一种多种化学品分类排放回收系统，其特征在于该系统设有排放废液收集管、 分类排放管、旋转电机、旋转支臂，排放废液收集管安装于旋转支臂上，旋转支臂与分 类排放废液管支架上的旋转电机通过轴承连接，旋转电机通过驱动旋转支臂旋转带动排 放废液收集管与相应的分类排放管对应。
2.按照权利要求1所述的多种化学品分类排放回收系统，其特征在于还设有防漏 液收集盘，防漏液收集盘为环形槽结构，分类排放管设置于防漏液收集盘的环形槽内。
3.按照权利要求1所述的多种化学品分类排放回收系统，其特征在于分类排放管 底部的排放口分别与相应的可回收废液桶或不可回收液体直排管道连通。
4.按照权利要求1所述的多种化学品分类排放回收系统，其特征在于该系统固定 在最底部的旋转轴承上，整体系统以旋转轴承为支点在360度范围内旋转。
5.按照权利要求1所述的多种化学品分类排放回收系统，其特征在于可回收废液 桶设置于该系统的可旋转底板上，在可旋转底板的底部设有上限位挡块，整体系统的下 方设有与上限位挡块旋转方向相应的下限位挡块。
全文摘要
本发明涉及用于半导体设备上多种化学品的分类排放或回收的装置，具体为一种多种化学品分类排放回收系统，在工艺处理单元的化学品使用后，对要排放的多种化学品进行自动分类排放或回收，多用于半导体制成的显影设备清洗设备刻蚀设备等。该系统设有排放废液收集管、分类排放管、旋转电机、旋转支臂，排放废液收集管安装于旋转支臂上，旋转支臂与分类排放废液管支架上的旋转电机通过轴承连接，旋转电机通过驱动旋转支臂旋转带动排放废液收集管与相应的分类排放管对应。采用本发明可以克服直接排放浪费，解决再回收利用和多种化学品分类排放的问题。
文档编号H01L21/00GK102024675SQ20091022003
公开日2011年4月20日 申请日期2009年11月20日 优先权日2009年11月20日
发明者汪明波, 王绍勇 申请人:沈阳芯源微电子设备有限公司