专利名称：多种化学品药液分离、重复使用装置的制作方法
技术领域：
本发明是应用于半导体制程中刻蚀部分针对多种化学药液再回收利用的技术，具
体为一种多种化学品药液分离、重复使用装置。
背景技术：
以槽式刻蚀为代表的传统湿法刻蚀，刻蚀精度很难控制，由于溶剂微粒的沾污而 导致高的缺陷水平，不能用于大直径小特征的晶圆加工。而单片刻蚀可以避免溶剂微粒的 沾污，却会产生大量的化学废液，在化学品回收利用方面是个空白。
发明内容
为实现化学品的重复使用，本发明的目的在于提供一种多种化学品药液分离、重 复使用装置，可将多种化学药液分离，再将回收的化学药液配比成可重复使用的浓度，实现 再利用，该技术可大大减少刻蚀过程中化学药液的浪费。
本发明的技术方案是 —种多种化学品药液分离、重复使用装置，该装置主要设有药液杯、旋转马达、导 向电机、回收液罐、再生液罐，导向电机与一段管路连接，管路上端与药液杯连通，管路下端 通过导向电机旋转不同的方向与下面的至少一个收集杯口中心对应；回收液罐与再生液罐 的一个入口通过管路相连，再生液罐的出口插设有管路，该管路另一端至药液杯上方，与晶 片对应。 所述的多种化学品药液分离、重复使用装置，还包括配比液罐、补酸控制器，再生
液罐的另一入口通过管路与配比液罐相连，在该管路上装有泵；补酸控制器的输入端通过
传感器置于回收液罐中，补酸控制器的输出端连接所述的泵，控制泵的开启或关闭。 所述的多种化学品药液分离、重复使用装置，在回收液罐与再生液罐的入口相连
的管路上安装有泵。 所述的多种化学品药液分离、重复使用装置，在再生液罐出口插设的管路上安装 有泵。 所述的多种化学品药液分离、重复使用装置，在回收液罐与再生液罐的入口相连 的管路上安装排污管，在该排污管上安装排废阀。 所述的多种化学品药液分离、重复使用装置，收集杯为三个，第一个收集杯与一个
回收液罐连通，第二个收集杯与另一个回收液罐连通，第三个收集杯连接排污管。 所述的多种化学品药液分离、重复使用装置，药液杯的内侧设置旋转马达，承片台
安装于旋转马达的轴上，晶片放置在承片台上。 本发明的有益效果是 1、以槽式刻蚀为代表的传统湿法刻蚀成品率低，而应用离心机旋转的单片刻蚀方 式又导致大量化学品浪费，本发明装置可实现化学药液再利用。该装置主要设有承片台 (CHUCK)、旋转马达、回收化学药液的药液罐、补酸控制器、化学药液泵等。本发明通过设于药液杯(CUP)的下部不同药液的回收切换装置，使化学品根据显影液归于不同的回收容器 化学药液灌中。多种化学品的重复使用，是通过化学品补偿控制器，检测相应药液的浓度来 实现。 2、本发明利用导向电机连接不同管路实现对化学药液的分离，补酸控制器的传感 器检测药液罐中的化学药液，再通过两个泵配比液罐中的药液来调节药液浓度，再使用第 三个泵来实现重复利用药液的再次喷洒。
图1为本发明结构示意图。图中，1、晶片；2、承片台(CHUCK) ;3、药液杯(CUP) ;4、
旋转马达；5、导向电机；6、补酸控制器；7、泵I ;8、泵II ;9、泵III ;10、排废阀；11、配比液 罐；12、回收液罐B ;13、再生液罐；14、回收液罐A ;15、收集杯；16、管路。
具体实施例方式
如图l所示，本发明多种化学品药液分离、重复使用装置主要包括晶片1、承片台 (CHUCK)2、药液杯(CUP)3、旋转马达4、导向电机5、补酸控制器6、泵I 7、泵II 8、泵1119、 排废阀10、配比液罐11、回收液罐B12、再生液罐13、回收液罐A14等，具体结构如下
药液杯3内侧设置旋转马达4，承片台2安装于旋转马达4的轴上，晶片1放置在 承片台2上。导向电机5与一段管路16连通，管路16上端与药液杯(CUP)3紧密相连，管 路16下端通过导向电机5旋转不同的方向与下面三个收集杯口中心对应；三个收集杯15 之中，第一个收集杯与回收液罐B12连通，第二个收集杯与回收液罐A14连通，第三个收集 杯连接排污管；本发明中，第三个收集杯连接排污管，其目的是用于排除工艺过程中，没有 回收价值的工艺液体，如已污染的去离子水等。配比液罐11与再生液罐13的入口通过管 路相连，在该管路上装有泵118 ;回收液罐B12与再生液罐13的入口通过管路相连，在该管 路上装有泵I 7和排污管，在该排污管上安装排废阀10 ;再生液罐13的出口插设有管路， 该管路上安装泵1119，该管路的另一端至药液杯3上方，与晶片1对应。补酸控制器6输入 端通过传感器置于回收液罐B12中，传感器将测量的液体浓度值输入至补酸控制器6，补酸 控制器6的输出端连接泵II8，控制泵I1 8的开启或关闭。本发明中，补酸控制器6为常规 技术； 本发明中，回收液罐A14的作用是收集与回收液罐B12不同的药液；这样，可以将 回收液罐A14与再生液罐13的入口通过管路相连，在该管路上装有泵和排污管。此时，可以 将补酸控制器的传感器置于回收液罐A14中，传感器将测量的液体浓度值输入至补酸控制 器，通过配比液罐11向再生液罐13中补充药液。根据需要，还可以设置更多的回收液罐， 实现多种化学品药液的分离和重复使用。
本发明的工作过程如下 药液杯3内侧设置的旋转马达4，带动承片台2上安装的晶片l旋转，药液于上方 喷至晶片1，进行药液的涂敷。导向电机5带动可旋转管路16，管路16上端连接药液杯3的 底部开口 ，管路下端通过导向电机5旋转不同的方向可与下面三个收集杯15 口中心对应， 药液杯3收集的化学品药液通过管路输入到收集杯15中。收集杯口直径比管路16直径略 大，可有效的防止液体溅出。回收液罐B12是个中转装置，补酸控制器6测量回收液罐B12
4里面的液体浓度，泵I 7把回收液罐B12的液体打入再生液罐13，与泵II 8连接的补酸控制器6通过换算控制泵II 8把配比液罐11中的液体打入再生液罐13中，此时再生液罐13已经是可重复使用的化学药品了。最后，通过泵1119把再生液罐13中的化学药品喷洒到晶片1上，实现回收再利用，废弃化学药品通过排废阀io控制排出。
权利要求
一种多种化学品药液分离、重复使用装置，其特征在于该装置主要设有药液杯、旋转马达、导向电机、回收液罐、再生液罐，导向电机与一段管路连接，管路上端与药液杯连通，管路下端通过导向电机旋转不同的方向与下面的至少一个收集杯口中心对应；回收液罐与再生液罐的一个入口通过管路相连，再生液罐的出口插设有管路，该管路另一端至药液杯上方，与晶片对应。
2. 按照权利要求1所述的多种化学品药液分离、重复使用装置，其特征在于还包括配 比液罐、补酸控制器，再生液罐的另一入口通过管路与配比液罐相连，在该管路上装有泵； 补酸控制器的输入端通过传感器置于回收液罐中，补酸控制器的输出端连接所述的泵，控 制泵的开启或关闭。
3. 按照权利要求1所述的多种化学品药液分离、重复使用装置，其特征在于在回收液 罐与再生液罐的入口相连的管路上安装有泵。
4. 按照权利要求1所述的多种化学品药液分离、重复使用装置，其特征在于在再生液 罐出口插设的管路上安装有泵。
5. 按照权利要求1所述的多种化学品药液分离、重复使用装置，其特征在于在回收液 罐与再生液罐的入口相连的管路上安装排污管，在该排污管上安装排废阀。
6. 按照权利要求1所述的多种化学品药液分离、重复使用装置，其特征在于收集杯为 三个，第一个收集杯与一个回收液罐连通，第二个收集杯与另一个回收液罐连通，第三个收 集杯连接排污管。
7. 按照权利要求1所述的多种化学品药液分离、重复使用装置，其特征在于药液杯的 内侧设置旋转马达，承片台安装于旋转马达的轴上，晶片放置在承片台上。
全文摘要
本发明是应用于半导体制程中刻蚀部分针对多种化学药液再回收利用的技术，具体为一种多种化学品药液分离、重复使用装置，可将多种化学药液分离，再将回收的化学药液配比成可重复使用的浓度，实现再利用，该技术可大大减少刻蚀过程中化学药液的浪费。该装置主要设有药液杯、旋转马达、导向电机、回收液罐、再生液罐，导向电机与一段管路连接，管路上端与药液杯连通，管路下端通过导向电机旋转不同的方向与下面的至少一个收集杯口中心对应；回收液罐与再生液罐的入口通过管路相连，再生液罐的出口插设有管路，该管路另一端至药液杯上方，与晶片对应。本发明通过不同药液的回收切换装置，使化学品根据显影液归于不同的回收容器化学药液灌中。
文档编号C23F1/46GK101760744SQ20081023010
公开日2010年6月30日 申请日期2008年12月24日 优先权日2008年12月24日
发明者孙东丰, 徐春旭 申请人:沈阳芯源微电子设备有限公司