技术编号:7181510
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及,特别涉及具有沟槽栅的功率半导体装置 的制造方法。背景技术在功率半导体装置中,有作为用于控制大容量的功率的无触点开关而使用的功率 半导体装置。这样的大容量的装置,例如应用于省能源化不断发展的空调、冰箱、洗衣机等 的家电制品的逆变器电路,或应用于高速列车或地铁等的列车的电动机控制。进而,近年来 考虑地球环境,功率半导体装置应用于并用电动机和发动机而行驶的混合动力汽车的逆变 器(inverter)/变频器(converter)的控制中,或应用于太阳能...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。