技术编号：7182394
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体设计及制造，特别涉及一种自对准的小型NAND (与非 门)结构及其形成方法。背景技术NAND结构是在闪存中较为普遍使用的一种结构，NAND闪存比硬盘驱动器更好。 随着人们持续追求功耗更低、重量更轻和性能更佳的产品，由于NAND所具的较高的单元密 度，高存储密度，较快的写入和擦除速度等优势，其得到了广泛的应用。NAND闪存的单元尺 寸几乎是NOR器件的一半，可以在给定的模具尺寸内提供更高的容量，具有很快的写入和 擦除速度，主要功能是存储资料，...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
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