三维混合信号芯片堆叠封装体及其制备方法技术资料下载

技术编号:7184789

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本发明涉及半导体元器件,特别涉及一种三维混合信号芯片堆叠封装体 及其制备方法。背景技术随着人们对电子产品小型化,多功能,环保型等多方面的需求,使得高密度集成 技术例如系统级芯片(System-On-Chip,S0C)以及系统级封装(System-in-Package SiP, System-on-Package SoP)技术得到了迅速地发展。然而,混合信号多芯片系统的集成封装 却成为了 一个技术难点。在高密度的需求下,对多芯片进行三维堆叠是缩小体积,增加集...
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