技术编号:7185986
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及发光二极管(LED)制造过程的合金工序中应用的石英舟,属于合金石英 舟。 背景技术合金是LED (发光二极管)制造过程中的一道重要工序,主要用来钝化晶片工艺上的欧 姆接触。合金的过程需要用到合金石英舟作为晶片的载体,晶片放于合金石英舟上,将石英 舟推入炉管恒温区,经高温处理完成合金过程。目前发光二极管合金过程中所使用的立体合金石英舟分为无底盘立体合金舟和有底盘立 体合金舟两种。无底盘立体合金舟只有一个支架,晶片直接放置于该支架上;对于无底盘立...
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