专利名称：发光二极管合金石英舟的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及发光二极管(LED)制造过程的合金工序中应用的石英舟，属于合金石英 舟技术领域。
背景技术：
合金是LED (发光二极管)制造过程中的一道重要工序，主要用来钝化晶片工艺上的欧 姆接触。合金的过程需要用到合金石英舟作为晶片的载体，晶片放于合金石英舟上，将石英 舟推入炉管恒温区，经高温处理完成合金过程。
目前发光二极管合金过程中所使用的立体合金石英舟分为无底盘立体合金舟和有底盘立 体合金舟两种。无底盘立体合金舟只有一个支架，晶片直接放置于该支架上；对于无底盘立 体合金舟，合金升温较快，均匀性较好，但是合金舟和炉管的接触面积小，合金舟使用时平 稳性受到影响，若操作不当可能会损坏合金舟上的晶片。有底盘立体合金舟是将支架设置在 平板状底盘上，晶片放置于支架上，对于此立式合金舟，其平稳性好，但由于底盘过大，在 预热过程中底盘不能充分预热，合金过程主要是靠炉管的热辐射加热，而合金舟的底盘阻挡 了一部分热辐射，当石英舟预热后被推入炉管恒温区后，短时间内底盘不能达到合金所需温 度，这样晶片靠近底盘的部分和远离底盘的部分受热不均，合金的均匀性受到影响。 发明内容
针对现有发光二极管合金工序中所用石英舟存在的不足，本实用新型提供一种使合金具 有较好均匀性和平稳性的发光二极管合金石英舟。
本实用新型的发光二极管合金石英舟采用以下技术方案
该发光二极管合金石英舟包括底盘和支架，支架设置在底盘上，底盘上分布有孔洞。孔 洞均匀排列，孔洞的形状可以圆形、方形或长条形等任意形状。
上述方案减少了底盘的相对面积，作为立体合金舟的底盘使用，使热辐射可通过这些孔 洞到达晶片的表面，增加了热辐射的均匀性，进而提高了合金的均匀性，在提高均匀性的同 时，底盘可保证合金舟在使用过程中的平稳度，提高了合金舟使用的安全性能。该底盘也可 单独作为平面合金舟使用，当被推入恒温区时，升温迅速，合金均匀。
本实用新型结构简单，在提高安全性的同时，提高了合金的均匀性和平稳性。
附图是本实用新型的结构示意图。
其中1、底盘，2、孔洞，3、支架。
具体实施方式
如附图所示，本实用新型的合金石英舟是有底盘的立体合金舟，包括底盘1和支架3，支 架3设置在底盘1上。与现有现有立体合金石英舟不同的是该底盘1上均匀分布有一些孔洞2， 这些孔洞2的密度和尺寸是具体情况而定。孔洞2的形状可以圆形、方形或长条形等任意形状。 石英支架3上可竖立放置晶片，放置晶片数目由具体工艺确定。
如果单独使用此底盘l，可作为独立的平面合金舟使用。
在底盘1上设置的孔洞2的增加既减小了底盘1相对面积又增加了热辐射的透过率。
权利要求1.一种发光二极管合金石英舟，包括底盘和支架，支架设置在底盘上，其特征是底盘上分布有孔洞。
2. 根据权利要求l所述的发光二极管合金石英舟，其特征是所述孔洞均匀排列。
专利摘要本实用新型提供了一种发光二极管合金石英舟，该发光二极管合金石英舟包括底盘和支架，支架设置在底盘上，底盘上分布有孔洞。孔洞均匀排列，孔洞的形状可以圆形、方形或长条形等任意形状。上述方案减少了底盘的相对面积，作为立体合金舟的底盘使用，使热辐射可通过这些孔洞到达晶片的表面，增加了热辐射的均匀性，进而提高了合金的均匀性，在提高均匀性的同时，底盘可保证合金舟在使用过程中的平稳度，提高了合金舟使用的安全性能。该底盘也可单独作为平面合金舟使用，当被推入恒温区时，升温迅速，合金均匀。本实用新型结构简单，在提高安全性的同时，提高了合金的均匀性和平稳性。
文档编号H01L33/00GK201421847SQ20092002705
公开日2010年3月10日 申请日期2009年6月19日 优先权日2009年6月19日
发明者健 冯, 单立英, 杨振葵, 赵霞焱, 黄孝宁 申请人:山东华光光电子有限公司