技术编号:7186925
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及太阳能电池生产设备,尤其是一种晶体硅太阳能电池扩散炉。背景技术扩散炉管是半导体器件及大规模集成电路制造过程中用于对硅片进行扩 散、氧化、退伙、合金及烧结等工艺的一种热加工设备。在晶体硅太阳能电池生产过程中,扩散是制备PN结的重要工艺过程。 一般的太阳能电池扩散炉设备包括扩散炉炉管和尾部连接的用于提供气源的石英管。但是这种设备存在一些不足之处由于扩散炉管为单端开放式结构,在处理硅片的工艺过程中不可避免地装片、卸片都要从一个口子进出,时间较长,生...
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