技术编号:7187337
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种手动夹持工具,尤其是涉及一种用于夹持清洗或抛光后的硅片的夹持器。 背景技术硅片是制造大规模集成电路的主要材料,在生产过程中通常需要经过抛光、清洗 等工艺过程制造成集成电路级半导体硅片。在抛光和清洗工艺完成后,通常直接用手取出 硅片,此时用手取出经过抛光或清洗的硅片,会引起硅片边缘及表面划伤或再次污染,从而 严重地影响产品的合格率,造成原材料的浪费,大大地提高制造成本。实用新型内容本申请人针对上述的问题,进行了研究改进,提供一种结构简单、操...
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