专利名称：硅片夹持器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种手动夹持工具，尤其是涉及一种用于夹持清洗或抛光后的硅
片的夹持器。
背景技术：
硅片是制造大规模集成电路的主要材料，在生产过程中通常需要经过抛光、清洗 等工艺过程制造成集成电路级半导体硅片。在抛光和清洗工艺完成后，通常直接用手取出 硅片，此时用手取出经过抛光或清洗的硅片，会引起硅片边缘及表面划伤或再次污染，从而 严重地影响产品的合格率，造成原材料的浪费，大大地提高制造成本。
实用新型内容本申请人针对上述的问题，进行了研究改进，提供一种结构简单、操作方便的硅片 夹持器，减少对经抛光或清洗的硅片的表面划伤或污染，提高产品的合格率，减少原材料的 浪费，降低制造成本。 为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下的技术方案 —种硅片夹持器，包括操作部及夹持部，所述操作部包括两个上端铰接在一起的
弧形操作臂，操作臂上部分别设有操作手柄，操作臂的下端连接夹持部，两个操作臂上部的
内侧连接有拉簧；所述夹持部为呈V形的夹持杆，夹持杆上设有容片槽。
进一步的 所述容片槽的横截面呈V形。 所述V形容片槽的角度为45。 90° 。 所述V形夹持杆的夹角为90。 130° 。 本实用新型的技术效果在于 本实用新型公开的一种硅片夹持器，结构简单，操作方便，夹持可靠，由于采用V 形的夹持部及V形的容片槽，与硅片的接触面积小，减小对经抛光或清洗的硅片表面划伤 或污染的可能，提高产品的合格率，减少原材料的浪费，降低制造成本。
图1为本实用新型的三维结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式
作进一步详细的说明。 如图1所示，本实用新型包括操作部1及夹持部2，操作部1包括两个操作臂101， 两个操作臂101呈弧形，两个操作臂101的上端通过销轴103铰接在一起，操作臂101上部 分别设有操作手柄102，操作臂101的下端连接夹持部2，两个操作臂101上部的内侧连接 有拉簧104，操作时由拉簧104的弹力来夹持硅片。夹持部2为呈V形的夹持杆2Q1，夹持杆201上设有容片槽202， V形夹持杆201的夹角A的最佳实施范围在90。 130°之间， 本实施例中该夹角A为120。，容片槽202的横截面可以是矩形、弧形或其他形状，在本实施 例中，容片槽202的横截面呈V形，V形容片槽202的角度B为60。 ， V形容片槽202的角 度B的最佳实施范围在45。 90°之间。 使用本实用新型夹持硅片时，用手握紧操作手柄102，使夹持部2张开，将容片槽 202对准硅片的边缘，放松操作手柄102，由拉簧104的弹力作用使夹持部2夹持住硅片的 两侧边缘，提起操作手柄102即可取出硅片，移到相应的位置，再次握紧操作手柄102，即可 放开所取的硅片。
权利要求一种硅片夹持器，其特征在于包括操作部及夹持部，所述操作部包括两个上端铰接在一起的弧形操作臂，操作臂上部分别设有操作手柄，操作臂的下端连接夹持部，两个操作臂上部的内侧连接有拉簧；所述夹持部为呈V形的夹持杆，夹持杆上设有容片槽。
2. 按照权利要求1所述的硅片夹持器，其特征在于所述容片槽的横截面呈V形。
3. 按照权利要求2所述的硅片夹持器，其特征在于所述V形容片槽的角度为45。
90° 。
4. 按照权利要求1所述的硅片夹持器，其特征在于所述V形夹持杆的夹角为90。
130° 。
专利摘要本实用新型涉及一种硅片夹持器，其特征在于包括操作部及夹持部，所述操作部包括两个上端铰接在一起的弧形操作臂，操作臂上部分别设有操作手柄，操作臂的下端连接夹持部，两个操作臂上部的内侧连接有拉簧；所述夹持部为呈V形的夹持杆，夹持杆上设有容片槽。本实用新型结构简单，操作方便，夹持可靠，由于采用V形的夹持部及V形的容片槽，与硅片的接触面积小，减小对经抛光或清洗的硅片表面划伤或污染的可能，提高产品的合格率，减少原材料的浪费，降低制造成本。
文档编号H01L21/687GK201450000SQ20092004548
公开日2010年5月5日 申请日期2009年5月19日 优先权日2009年5月19日
发明者周永清 申请人:宜兴市鼎科电子电力器材厂