技术编号:7189856
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种晶体硅太阳电池的加工装置,特别是晶体硅太阳电池镀膜的装置。 背景技术目前,晶体硅太阳电池等离子体化学气相沉积镀膜工艺用石墨载板上的钢钩,依 靠两钢钩腿的缠绕固定在载板横梁上,不便于钢钩的取放。矩形的钢钩腿要求钢钩尖和钢 钩腿之间的水平距离较大,以保证基片在镀膜过程中能够完全挂在相对的两钢钩上,但这 样增大了钢钩尖对基片的遮蔽面积,影响钢钩尖附近的镀膜效果。使基片表面钢钩尖附近 区域不能镀上氮化硅薄膜以及氮化硅薄膜厚度偏小的面积太大,太阳电...
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