技术编号:7191237
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于一种机械驱动转动装置,具体是用于硅片在加工艺过程,如清洗、腐蚀工艺中,驱动放置在标准片篮里的硅片自行转动的装置。 背景技术目前,在硅片加工的清洗、腐蚀等工艺过程中,硅片均为静态地进行。这种操作方 法具有一些不足工艺过程中对硅片的加工作用不均匀,质量和效率不够理想;特别是还 需要配套使用的夹具,对硅片进行反复地取放,很容易损伤硅片。因此,需要对现有工艺和 设备进行改进。实用新型内容本实用新型的目的是为了解决上述技术问题,提出一种硅片自转系统,该...
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