专利名称：硅片自转系统的制作方法
技术领域：
本实用新型属于一种机械驱动转动装置，具体是用于硅片在加工艺过程，如清洗、
腐蚀工艺中，驱动放置在标准片篮里的硅片自行转动的装置。
背景技术：
目前，在硅片加工的清洗、腐蚀等工艺过程中，硅片均为静态地进行。这种操作方 法具有一些不足工艺过程中对硅片的加工作用不均匀，质量和效率不够理想；特别是还 需要配套使用的夹具，对硅片进行反复地取放，很容易损伤硅片。因此，需要对现有工艺和 设备进行改进。
实用新型内容本实用新型的目的是为了解决上述技术问题，提出一种硅片自转系统，该系统较 好地解决了上述问题。 本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的硅片自转系统，设有箱体、电 机，其特征在于电机的转动轴与主动轮和从动轮传动连接，从动轮通过传动齿轮组与两个 水平设置的从动轴传动连接。
所述电机设有电机罩，传动齿轮组设置在齿轮箱内，从动轴设置在底板上。 本实用新型的硅片自转系统，使硅片的清洗、腐蚀等工艺过程中由静态变为动态，
工艺作用全方位均匀进行，质量是效率大提高。特别是可以使用标准片篮，减少倒片工作量
和碎片率，电机速度可调，同机臂联动，可实现抛动与自转同时进行。具有结构简单实用，质
量好，效率高，不损硅片的优点。
图1是本实用新型的结构示意图； 图2是图1的A-A剖视图； 图3是图2的B-B剖视图。
具体实施方式
以下结合附图和实施例对本实用新型作进一步的说明实施例参见附图，硅片 自转系统，设有箱体5、电机2，电机的转动轴4与主动轮6和从动轮8传动连接，从动轮通 过传动齿轮组9与两个水平设置的从动轴12传动连接。所述电机设有电机罩l，传动齿轮 组设置在齿轮箱10内，从动轴设置在底板11上。 本实施例经试用效果非常好。
权利要求一种硅片自转系统，设有箱体(5)、电机(2)，其特征在于电机的转动轴(4)与主动轮(6)和从动轮(8)传动连接，从动轮通过传动齿轮组(9)与两个水平设置的从动轴(12)传动连接。
2. 根所权利要求1所述的硅片自转系统，其特征在于所述电机设有电机罩(1)，传动 齿轮组设置在齿轮箱(10)内，从动轴设置在底板(11)上。
专利摘要本实用新型公开了一种硅片自转系统，设有箱体(5)、电机(2)，其特征在于电机的转动轴(4)与主动轮(6)和从动轮(8)传动连接，从动轮通过传动齿轮组(9)与两个水平设置的从动轴(12)传动连接。所述电机设有电机罩(1)，传动齿轮组设置在齿轮箱(10)内，从动轴设置在底板(11)上。本实用新型适用于硅片整篮动态进行清洗、腐蚀等工艺，结构简单，操作简便，质量好，效率高，不损伤硅片。
文档编号H01L21/67GK201523002SQ20092010966
公开日2010年7月7日 申请日期2009年6月30日 优先权日2009年6月30日
发明者杜飞龙, 武建强 申请人:北京七星华创电子股份有限公司