技术编号：7192165
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型是一种自动上下料系统，用于多管PECVD设备中完成工艺舟的全自动装卸，属于光伏太阳能设备领域。背景技术传统的PECVD的工艺舟上下料都由人工完成，随着晶片尺寸的增大和工艺改进后 单舟装载晶片数量的增加，导致装载完晶片的工艺舟的重量大幅增加，工艺舟重量的增加使PECVD的结构向高度空间发展受到阻碍，降低了净化间单位面积内装备的产能。另外最重要的一点是工人管理和培训成本高，劳动强度大，工作环境恶劣，同时由于人为的因素造成硅片的污染及碎片问题也更加突出...
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