专利名称：一种适应多管pecvd的自动上下料装卸系统的制作方法
技术领域：
本实用新型是一种自动上下料系统，用于多管PECVD设备中完成工艺舟的全自动装卸，属于光伏太阳能设备领域。
背景技术：
传统的PECVD的工艺舟上下料都由人工完成，随着晶片尺寸的增大和工艺改进后 单舟装载晶片数量的增加，导致装载完晶片的工艺舟的重量大幅增加，工艺舟重量的增加使PECVD的结构向高度空间发展受到阻碍，降低了净化间单位面积内装备的产能。另外最重要的一点是工人管理和培训成本高，劳动强度大，工作环境恶劣，同时由于人为的因素造成硅片的污染及碎片问题也更加突出。与此相反的是采用自动上下料装置不但能将装备从原来的二管增加到三管、四管，甚至是五管，从而大幅提高单台装备的生产效率，而且可以实现装备的自动化，降低操作员工的劳动强度及节约工厂设备的占地面积，因此是多管PECVD装备发展的必然趋势。大规模工业生产的一个突出特点就是生产过程的高度自动化，多管PECVD的自动上下料系统的实现将大大的提高PECVD工序的自动化操作程度。自动上下料系统的采用将带来工艺结果高度的重复性，避免了人工操作的随意性对工艺产生的影响。
实用新型内容针对传统的PECVD的工艺舟上下料都由人工完成，这种方式制约了设备的空间发展，导致生产场地的利用率降低，工人管理和培训成本高，劳动强度大，工作环境恶劣，人为的因素造成硅片的污染及碎片等缺陷，本实用新型旨在提供一种适应多管PECVD的自动上下料装卸系统，该上下料装卸系统以满足多管PECVD设备中工艺舟的全自动装卸，实现太阳能电池片生产线的全自动化打下基础。为了实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案是一种适应多管PECVD的自动上下料装卸系统，包括推车，其结构特点是，还包括装在推车上用于在竖直方向运送工艺舟的龙门升降机，装在龙门升降机上用于在水平方向运送工艺舟的机械手，所述推车上装有锁紧或释放推车的推车驱动装置。所述龙门升降机的结构为，包括两根竖直装在推车上作为滑台的竖梁，该竖梁上装有带刹车装置的驱动电机。由于竖梁由两根可独立运动的滑台组成，电机驱动通过转向器将运动平均分配到竖梁的每根轴上，实现两竖梁的同步运动，驱动电机配有刹车装置，能够保证在非工作状态下，滑块机构自锁，保证在掉电状态下工艺舟的安全。所述机械手有两只，每根竖梁上装有一只机械手，通过同步轴相连的两只机械手由一个电机驱动。在水平方向设计两个取舟机械手，分别固定在竖梁的两个滑台上，左右机械手采用同一个电机驱动，中间通过同步轴连接保证左右机械手动作一致。更进一步地，所述竖梁上装有临时储存工艺舟的冷却储存架。冷却储存架用来对加工完毕的热工艺舟进行冷却或在加工忙和出现故障时，对正在运输中的工艺舟进行储存。推车驱动装置通过汽缸作用，用于顶起和放下，锁紧和释放推车的作用。籍由上述结构，适应多管PECVD设备的自动上下料系统在垂直方向采用龙门升降机构，竖梁为两根可独立运动的滑台组成，电机驱动通过转向器将运动平均分配到竖梁的每根轴上，实现两竖梁的同步运动，驱动电机配有刹车装置，能够保证在非工作状态下，滑块机构自锁，保证在掉电状态下工艺舟的安全。同时在水平方向设计两个取舟机械手，分别固定在竖梁的两个滑台上，左右机械手采用同一个电机驱动，中间通过同步轴连接保证左右机械手动作一致。通过独立的控制系统联机检测各个工位的工作状况，适时的进行上下、平移及冷却储存架放置处理，装舟时只需人工将装好片的工艺舟放置在推车上并选择装载工位，机械手将自动完成装载至工位的全部动作；卸舟时机械手会自动将出炉的工位上的工艺舟取出并放置在冷却平台上，人工只需从冷却平台取走工艺舟即可。 全套动作由独立监控PLC控制，各种动作通过电机与导轨配合自动完成，系统通过与管理计算机及到位传感器进行联锁，保护舟及工艺片的安全。以下对本实用新型作进一步的描述。一种自动上下料系统包括推车1，龙门升降机2，冷却储存架3，推车驱动装置4，机械手5,工艺舟6。所述的推车I :承载和运送工艺舟的小车平台，方便操作人员进行工艺舟进出设备的操作。在PECVD工艺中用一部推车来手动将工艺舟移入设备中进行加工，以及在加工结束后将工艺舟移出设备。所述的龙门升降机2 :龙门升降机用来执行垂直方向的运动，负责工艺舟在推车，PECVD各管之间和冷却储存架的垂直运动。所述的冷却储存架3 :用来对加工完毕的热工艺舟进行冷却或在加工忙和出现故障时，对正在运输中的工艺舟进行储存。该系统配备了两个冷却储存架。所述的推车驱动装置4 :推车驱动装置通过汽缸作用，用于顶起和放下，锁紧和释放推车的作用。所述机械手5 :机械手用于对推车，冷却储存架和设备上的工艺舟的抓取，并且能够在水平方向移动，配合龙门升降机完成工艺舟的装卸。所述的工艺舟6 :工艺舟用来在热化学工艺过程中作为硅片的机械承载器。与现有技术相比，本实用新型的有益效果是I.上下料全过程自动化，有助于实现整线设备的自动化；2.机构运动互锁，故障报警完善，有停机保护功能；3.系统独立控制，能适应高温恶劣环境下传感通讯；4.龙门升降机构和机械手的两级同步带传动机构的采用，使结构紧凑、动作运行平稳可靠，安全系数高。
图I为本实用新型一种实施例的结构示意图。在图中[0029]I-推车；2_龙门升降机；3_冷却储存架；4_推车驱动装置；5-机械手；6-工艺舟。
具体实施方式
以下结合附图I和具体实施例对本实用新型作进一步的介绍，但不作为对本实用新型的限定。 一种适应多管PECVD设备的自动上下料系统，如图I所示，包括推车1，装在推车I上用于在竖直方向运送工艺舟6的龙门升降机2，装在龙门升降机2上用于在水平方向运送工艺舟6的机械手5，所述推车I上装有锁紧或释放推车I的推车驱动装置4。所述龙门升降机2的结构为，包括两根竖直装在推车I上作为滑台的竖梁，该竖梁上装有带刹车装置的驱动电机。所述机械手5有两只，每根竖梁上装有一只机械手，通过同步轴相连的两只机械手由一个电机驱动。所述竖梁上装有临时储存工艺舟6的冷却储存架3。工作时，通过操作者将装载工艺舟6的推车I推进设备接口处，在检测到推车I到位的同时，推车驱动装置4通过气缸动作顶起推车I并锁紧，垂直方向的龙门升降机2运动到推车I位置，水平方向的机械手5水平移动到工艺舟6位置抓取工艺舟6离开推车1，送入设备进行工艺加工，加工完成后，机械手5伸入设备，抓取加工完成的工艺舟6，通过龙门升降机2和机械手5的运动，将加工后的工艺舟6送到冷却储存架3，待冷却完成后，通过龙门升降机2和机械手5的运动将冷却储存架3上的工艺舟6送回推车1，完成整个自动上下料的全部过程。本实用新型的特定实施例已对本实用新型的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本实用新型精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本实用新型的侵犯，将承担相应的法律责任。
权利要求1.一种适应多管PECVD的自动上下料装卸系统，包括推车(1)，其特征是，还包括装在推车(I)上用于在竖直方向运送工艺舟(6)的龙门升降机(2)，装在龙门升降机(2)上用于在水平方向运送工艺舟(6)的机械手(5)，所述推车(I)上装有锁紧或释放推车(I)的推车驱动装置⑷。
2.根据权利要求I所述的适应多管PECVD的自动上下料装卸系统，其特征是，所述龙门升降机(2)的结构为，包括两根竖直装在推车(I)上作为滑台的竖梁，该竖梁上装有带刹车装置的驱动电机。
3.根据权利要求I所述的适应多管PECVD的自动上下料装卸系统，其特征是，所述机械手(5)有两只，每根竖梁上装有一只机械手，通过同步轴相连的两只机械手由一个电机驱动。
4.根据权利要求2 3之一所述的适应多管PECVD的自动上下料装卸系统，其特征是，所述竖梁上装有临时储存工艺舟出)的冷却储存架(3)。
专利摘要本实用新型涉及一种适应多管PECVD的自动上下料装卸系统，属于自动上下料系统领域，针对传统的PECVD的工艺舟上下料都由人工完成导致生产场地的利用率降低，成本高，劳动强度大，工作环境恶劣，硅片易污染或碎片的问题，本实用新型包括推车，装在推车上用于在竖直方向运送工艺舟的龙门升降机，装在龙门升降机上用于在水平方向运送工艺舟的机械手，所述推车上装有锁紧或释放推车的推车驱动装置。本实用新型可以满足多管PECVD设备中工艺舟的全自动装卸，为实现太阳能电池片生产线的全自动化打下基础。
文档编号H01L21/677GK202384309SQ201120505699
公开日2012年8月15日 申请日期2011年12月8日 优先权日2011年12月8日
发明者孙雪平, 易文杰, 王迪平, 罗宏洋, 胡振东, 钟新华 申请人:湖南红太阳光电科技有限公司