技术编号：7196622
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种材料质量的检验方法，尤其涉及一种判别集成电路中所使用的硅单晶片质量问题的。背景技术 集成电路制作中所使用的硅单晶片的质量极为重要，这是集成电路合格率的基础保证。硅单晶片的质量可以分为两种，即，一因原单晶片质量问题引起漏电超规范(或者称为一次缺陷)导致集成电路合格率下降，二因硅片制造(集成电路制造)的质量问题引起漏电超规范(或者称为二次缺陷)。因此如何区分是原单晶片的质量还是硅片制造的质量问题显得格外重要，它可使单晶生产厂家和硅片制造厂家各负其...
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