技术编号:7197702
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种清洗半导体的工具,特别涉及一种适用于清洗上电极(Upper Electrode)的工具。背景技术上电极是一种芯片制程过程中的关键部件,主要用于蚀刻金属涂层,在多晶硅表 面形成电子线路。现有清洗技术中使用的工具比较随便,没有一整套专门用于清洗上电极的工具, 这样容易造成芯片的密封面损伤,从而提升了漏率。实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种适用于清洗上电极的工具,其保证了 上电极的清洗效果,在最大限度内避免了密封面漏率的升高。为...
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