专利名称：适用于清洗上电极的工具的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种清洗半导体的工具，特别涉及一种适用于清洗上电极(Upper Electrode)的工具。
背景技术：
上电极是一种芯片制程过程中的关键部件，主要用于蚀刻金属涂层，在多晶硅表 面形成电子线路。现有清洗技术中使用的工具比较随便，没有一整套专门用于清洗上电极的工具， 这样容易造成芯片的密封面损伤，从而提升了漏率。
实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种适用于清洗上电极的工具，其保证了 上电极的清洗效果，在最大限度内避免了密封面漏率的升高。为解决所述技术问题，本实用新型提供了一种适用于清洗上电极的工具，其特征 在于，其包括一个阳极化铝密封面抛光夹具、一个铝密封面抛光夹具、一个支撑上电极用的 支撑架子和一个孔洞冲压装置，阳极化铝密封面抛光夹具、铝密封面抛光夹具、支撑上电极 用的支撑架子和孔洞冲压装置配套使用。优选地，所述阳极化铝密封面抛光夹具是由两片“口字右边少一竖”型聚丙烯板材 以十字型形式焊接而成，采用四片三角形板材固定。优选地，所述铝密封面抛光夹具分为上下两部分，上部分是由两片长方形聚丙烯 板材以十字型形式焊接而成，下部分是一块圆形聚丙烯板材。优选地，所述支撑上电极用的支撑架子是由两片“ 口字右边少一竖”型聚丙烯板 材以十字型形式焊接而成。优选地，所述孔洞冲压装置分为上下两部分，上部分是一个圆盘，在圆盘圆心处焊 接一个进水管，在进水管下方焊接一个圆环，下部分是一个分淋盘。本实用新型的积极进步效果在于本实用新型适用于清洗上电极的工具保证了上 电极的清洗效果，在最大限度内避免了密封面漏率升高的前提下，以比较温和的方式对上 电极进行清洗处理。
图1为本实用新型中的阳极化铝密封面抛光夹具的俯视图。图2为本实用新型中的阳极化铝密封面抛光夹具的侧视图。图3为本实用新型中的铝密封面抛光夹具的俯视图。图4为本实用新型中的铝密封面抛光夹具的侧视图。图5为本实用新型中的支撑上电极用的支撑架子的俯视图。图6为本实用新型中的支撑上电极用的支撑架子的侧视图。[0017]图7为本实用新型中的孔洞冲压装置的俯视图。图8为本实用新型中的孔洞冲压装置的侧视图。
具体实施方式
下面举个较佳实施例，并结合附图来更清楚完整地说明本实用新型。本实用新型适用于清洗上电极的工具包括一个阳极化铝密封面抛光夹具1、一个 铝密封面抛光夹具2、一个支撑上电极用的支撑架子和一个孔洞冲压装置，阳极化铝密封面 抛光夹具1、铝密封面抛光夹具2、支撑上电极用的支撑架子和孔洞冲压装置配套使用。本实用新型适用于清洗上电极的工具采用聚丙烯(PP，Polypropylene)材料，PP 材料是一种半结晶性材料，它比聚乙烯(PE，Polyethylene)材料要更坚硬并且有更高的 熔点。由于均聚物型的PP材料温度高于0°C以上时非常脆，因此许多商业的PP材料是加入 1 4%乙烯的无规则共聚物或更高比率乙烯含量的钳段式共聚物。共聚物型的PP材料有 较低的热扭曲温度(100°C )、低透明度、低光泽度、低刚性，但是有更强的抗冲击强度。如图1和图2所示，阳极化铝密封面抛光夹具1是由两片“口字右边少一竖”型 PP板材以十字型形式焊接而成，四片三角形板材被焊接在十字型空隙中起到稳定结构的作 用。此支撑上电极用的支撑架子的第一部位3是清洗上电极的工具与上电极的接触点，在 此部位垫上一块适当的百洁布，再用夹子将其固定在“ 口字右边少一竖”型PP板材上，其 中，百洁布的选用原则如下根据密封面宽度调整百洁布的宽度；根据需要抛光程度的不 同选用不同硬度的百洁布；在进行抛光动作的过程中为了防止整个夹具都移位，于是支撑 上电极用的支撑架子的第二部位4在此过程中起到防止夹具移位的作用。如图3和图4所示，铝密封面抛光夹具2分为上下两部分，上部分是由两片长方形 PP板材6以十字型形式焊接而成，板材长度比上电极的铝密封面外径稍长一公分；下部分 是一块圆形PP板材5，其直径与上电极的铝密封面内径相当；上下两部分焊接形成整个夹 具，在铝密封面进行抛光过程中，在上部长方形板材下面垫上适当的百洁布，旋转夹具就可 以对上电极的铝密封面进行抛光操作，而其下部分在整个过程中起到稳定方向都作用。如图5和图6所示，支撑上电极用的支撑架子是由两片“ 口字右边少一竖”型PP板 材9以十字型形式焊接而成，其中支撑上电极用的支撑架子的第一部位7主要起防止上电 极滑落的作用，其内侧与十字中心间的垂直距离为21厘米；支撑上电极用的支撑架子的第 二部位8主要起支撑上电极的作用，其中心与十字中心间的垂直距离为13厘米；在使用过 程中为防止损伤上电极的表面，可以在第二部位8上垫些抹布。如图7和图8所示，孔洞冲压装置分为上下两部分，其中，上部分是一个直径为42 厘米且为PP材料的圆盘10，在圆盘10的圆心处焊接一个直径为3厘米的进水管11，在进 水管11下方焊接一个内、外径分别为11厘米、21厘米且为PP材料的圆环12，圆环12的厚 度为8毫米；下部分是直径为21厘米且为PP材料的分淋盘13，在其半径为11厘米的面积 内，均勻地打上直径为1毫米的孔，每个孔的间距为0. 5厘米；将上下两部分焊接后就形成 整个孔洞冲压装置。高压水从进水管通入后被分淋盘均勻地分流，从孔洞冲压装置流出的 水流再流经上电极本身的孔洞时，进水的压力被均勻的分配到每个孔洞，从而达到同程度 清洗作用。虽然以上描述了本实用新型的具体实施方式
，但是本领域的技术人员应当理解，这些仅是举例说明， 在不背离本实用新型的原理和实质的前提下，可以对这些实施方式做 出多种变更或修改。因此，本实用新型的保护范围由所附权利要求书限定。
权利要求一种适用于清洗上电极的工具，其特征在于，其包括一个阳极化铝密封面抛光夹具、一个铝密封面抛光夹具、一个支撑上电极用的支撑架子和一个孔洞冲压装置，阳极化铝密封面抛光夹具、铝密封面抛光夹具、支撑上电极用的支撑架子和孔洞冲压装置配套使用。
2.如权利要求1所述的适用于清洗上电极的工具，其特征在于，所述阳极化铝密封面 抛光夹具是由两片“口字右边少一竖”型聚丙烯板材以十字型形式焊接而成，采用四片三角 形板材固定。
3.如权利要求1所述的适用于清洗上电极的工具，其特征在于，所述铝密封面抛光夹 具分为上下两部分，上部分是由两片长方形聚丙烯板材以十字型形式焊接而成，下部分是 一块圆形聚丙烯板材。
4.如权利要求1所述的适用于清洗上电极的工具，其特征在于，所述支撑上电极用的 支撑架子是由两片“口字右边少一竖”型聚丙烯板材以十字型形式焊接而成。
5.如权利要求1所述的适用于清洗上电极的工具，其特征在于，所述孔洞冲压装置分 为上下两部分，上部分是一个圆盘，在圆盘圆心处焊接一个进水管，在进水管下方焊接一个 圆环，下部分是一个分淋盘。
专利摘要本实用新型公开了一种适用于清洗上电极的工具，其包括一个阳极化铝密封面抛光夹具、一个铝密封面抛光夹具、一个支撑上电极用的支撑架子和一个孔洞冲压装置，阳极化铝密封面抛光夹具、铝密封面抛光夹具、支撑上电极用的支撑架子和孔洞冲压装置配套使用。本实用新型适用于清洗上电极的工具保证了上电极的清洗效果，在最大限度内避免了密封面漏率升高的前提下，以比较温和的方式对上电极进行清洗处理。
文档编号H01L21/70GK201728588SQ20092021063
公开日2011年2月2日 申请日期2009年10月13日 优先权日2009年10月13日
发明者刘贤, 陈宁 申请人:上海宏科半导体技术有限公司