技术编号:7203363
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种电容式射频微机械开关。 背景技术目前,电容式射频微机械(RF-MEMS)开关主要采用折叠梁或斜拉梁结构,电容式射频 微机械开关的驱动电压过大,远远超过CM0S集成电路的标准电压5V。实用新型内容本实用新型的目的是提供一种扭转梁电容式射频微机械开关,以解决现有电容式射频微 机械开关存在着驱动电压过大,远远超过CM0S集成电路的标准电压5V的问题。本实用新型为解决上述技术问题采取的技术方案是所述机械开关包括衬底、第一绝缘 介质层、多个信号输出...
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