专利名称：扭转梁电容式射频微机械开关的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种电容式射频微机械开关。
背景技术：
目前，电容式射频微机械(RF-MEMS)开关主要采用折叠梁或斜拉梁结构，电容式射频 微机械开关的驱动电压过大，远远超过CM0S集成电路的标准电压5V。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种扭转梁电容式射频微机械开关，以解决现有电容式射频微 机械开关存在着驱动电压过大，远远超过CM0S集成电路的标准电压5V的问题。
本实用新型为解决上述技术问题采取的技术方案是所述机械开关包括衬底、第一绝缘 介质层、多个信号输出线、锚和上电极；所述机械开关还包括悬臂梁，所述衬底的上端面与 第一绝缘介质层的下端面连接，第一绝缘介质层的上端面分别与多个信号输出线连接，每个 信号输出线的上端面与锚的下端面连接，所述悬臂梁由制成一体的挠度悬臂梁和扭转悬臂梁 构成，所述挠度悬臂梁的一端固定在锚上，所述挠度悬臂梁的另一端与上电极的下端面连接
本实用新型具有以下有益效果本实用新型的悬臂梁采用挠度悬臂梁和扭转悬臂梁，不 仅利用了悬臂梁的挠度，还利用悬臂梁的扭转效应，从而有效降低了电容式射频微机械开关 的驱动电压，在当前加工工艺条件下，占用同样面积的条件基于扭转的RF-MEMS开关比传统 RF-MEMS开关的驱动电压下降了 30% 。
图l是本实用新型的整体结构示意图，图2是图1的A-A剖视图。
具体实施方式
具体实施方式
一结合图l说明本实施方式，本实施方式的机械开关包括衬底l、第一绝 缘介质层2、多个信号输出线3、锚5和上电极6;所述机械开关还包括悬臂梁7，所述衬底l的 上端面与第一绝缘介质层2的下端面连接，第一绝缘介质层2的上端面分别与多个信号输出线 3连接，每个信号输出线3的上端面与锚5的下端面连接，所述悬臂梁7由制成一体的挠度悬臂 梁7-l和扭转悬臂梁7-2构成，所述挠度悬臂梁7-l的一端固定在锚5上，所述挠度悬臂梁7-l 的另一端与上电极6的下端面连接。
具体实施方式
二结合图l说明本实施方式，所述机械开关还包括第二绝缘介质层4，每
个信号输出线3的上端面设有第二绝缘介质层4。此种连接方式的优点是绝缘性能安全可靠。 其他组成及连接关系与具体实施方式
一相同。
权利要求1.一种扭转梁电容式射频微机械开关，所述机械开关包括衬底(1)、第一绝缘介质层(2)、多个信号输出线(3)、锚(5)和上电极(6)；其特征在于所述机械开关还包括悬臂梁(7)，所述衬底(1)的上端面与第一绝缘介质层(2)的下端面连接，所述第一绝缘介质层(2)的上端面分别与多个信号输出线(3)连接，每个信号输出线(3)的上端面与锚(5)的下端面连接，所述悬臂梁(7)由制成一体的挠度悬臂梁(7-1)和扭转悬臂梁(7-2)构成，所述挠度悬臂梁(7-1)的一端固定在锚(5)上，所述挠度悬臂梁(7-1)的另一端与上电极(6)的下端面连接。
2.根据权利要求l所述的扭转梁电容式射频微机械开关，其特征在于 所述机械开关还包括第二绝缘介质层(4)，每个信号输出线(3)的上端面设有第二绝缘介 质层(4)。
专利摘要扭转梁电容式射频微机械开关，它涉及一种电容式射频微机械开关。针对目前电容式射频微机械(RF-MEMS)开关主要采用折叠梁或斜拉梁结构，电容式射频微机械开关存在着驱动电压过大，远远超过CMOS集成电路的标准电压5V问题。衬底的上端面与第一绝缘介质层的下端面连接，第一绝缘介质层的上端面分别与多个信号输出线连接，信号输出线的上端面与锚的下端面连接，悬臂梁由制成一体的挠度悬臂梁和扭转悬臂梁构成，挠度悬臂梁的一端固定在锚上，挠度悬臂梁的另一端与上电极的下端面连接。本实用新型用于控制高频信号的通断。
文档编号H01H59/00GK201417715SQ200920306699
公开日2010年3月3日 申请日期2009年7月23日 优先权日2009年7月23日
发明者亮 宋, 宋明歆, 梅金硕, 殷景华, 王东兴 申请人:哈尔滨理工大学