非易失性半导体存储装置及其制造方法技术资料下载

技术编号:7205283

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本发明涉及通过施加电压脉冲稳定保持的阻抗值变化的非易失性半导体存储装 置及其制造方法。背景技术近年来,伴随着数字技术的进展,便携式信息机器和信息家电等的电子机器,更进 一步高功能化。因此,要求非易失性存储元件的大容量化、写入电力的降低、写入/读出时 间的高速化、以及长寿命。应对上述要求,谋求现存的使用浮动门的闪存存储器的细微化。另一方面,在存储 部使用通过施加电压脉冲变化稳定保持的阻抗值的阻抗变化元件的非易失性半导体存储 元件(电阻变化型存储器)的情况下,...
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