技术编号:7206162
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。用于互连的自对准阻挡层相关申请本专利公开要求2008年3月21日提交的美国专利申请No. 61/038,657 ;2008 年4月8日提交的美国专利申请No.61/043,236 ;2008年6月20日提交的美国专利申请 No. 61/074, 467的权益,在此通过引用这些申请将其全文并入本文。版权声明该专利公开可能包含受版权保护的材料。当其在美国专利和商标局的专利文件或 记录中出现时,版权拥有人对专利文献的任何人的传真复制或专利公开没有异议,但另外 保...
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