技术编号：7206337
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是有关于一种保持半导体晶圆、光罩玻璃、薄膜附着的光罩玻璃、薄膜 等的基板的保持器，以及包括保持器的基板收纳容器。背景技术做为基板的输送使用的基板收纳容器，已知有专利文献一、二所揭示的基板收 纳容器。如此的基板收纳容器，具有例如在前侧的正面形成开口部而在内部收纳基板 的容器本体；可开闭该容器本体的开口部的盖体；以及在该盖体的内壁面安装，保持基 板的前部周缘，在与容器本体之间夹持基板的保持器。在该保持器上，保持基板的保持 沟在前端部形成的多个弹性片，对应...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。