专利名称：保持器及包括保持器的基板收纳容器的制作方法
技术领域：
本发明是有关于一种保持半导体晶圆、光罩玻璃、薄膜附着的光罩玻璃、薄膜 等的基板的保持器，以及包括保持器的基板收纳容器。
背景技术：
做为基板的输送使用的基板收纳容器，已知有专利文献一、二所揭示的基板收 纳容器。如此的基板收纳容器，具有例如在前侧的正面形成开口部而在内部收纳基板 的容器本体；可开闭该容器本体的开口部的盖体；以及在该盖体的内壁面安装，保持基 板的前部周缘，在与容器本体之间夹持基板的保持器。在该保持器上，保持基板的保持 沟在前端部形成的多个弹性片，对应于每个基板而设有各一对，该一对弹性片是沿基板 配置。此外，根据需要，也有对应于一个弹性片而形成多个保持沟的结构，或是盖体的 中央部侧形成有其它弹性片以及保持沟的结构等。而且，盖体是手动或由盖体开闭装置 嵌合于容器本体或拆除。此外，在保持器上设有例如卡止突起或卡止凹部等卡止部。通 过将保持器的卡止部嵌入对方侧的卡止部，保持器固定于盖体(或容器本体)。先行技术文献特许文献1 日本特开2002-353301号公报特许文献2 日本特开2005-320028号公报发明所欲解决的课题上述现有技术中，例如由装置自动搬送时，由作业员手动搬送时，当因落下等 对基板收纳容器施加大冲击时，弹性片大幅挠曲，随着其反作用弹性片发生起伏，导致 基板从保持沟脱落而破损，即使未破损也有因基板与基板收纳容器的磨擦而产生微粒而 造成基板污染的危险。此外，做为冲击施加时的对策，将保持沟的形状做成例如V字形，沟的深度加 深，以及沟的宽度变窄是为有效，然而，在此情况下，因基板与保持沟接触而导致的磨 擦变多，有基板容易污染的问题，基板夹在保持沟的问题也可能发生。
发明内容
本发明是为解决上述课题而做成，目的在于提供一种保持器可将基板稳定保 持，并可降低基板污染的危险的保持器，以及包括该保持器的基板收纳容器。解决课题的手段本发明的保持器，设置在收纳基板的基板收纳容器上，保持板厚方向沿上下方 向且以一定间隔被整列地支撑的基板，其特征在于，包括筐体，具有在上下方向延伸 的一对上下方向部以及在与一对上下方向部交叉的左右方向延伸的一对左右方向部；弹 性片，从上下方向部向内侧突出，能够限制所述基板的位置；连结片，在上下方向延 伸，且两端部连接于所述左右方向部；以及突出部，形成有沿与基板交叉的方向倾斜且 能够与所述基板的周缘抵接的倾斜面，从连结片向所述基板收纳容器的内侧突出。
根据如此的保持器，利用从筐体的上下方向部向内侧突出的弹性片，可限制基 板的位置，因此即使在基板的位置偏移的情况下，也可由弹性片将基板的位置返回至原 来位置。此外，包括两端部连结于筐体的左右方向部且在上下方向延伸的连结片，在该 连结片上形成有向基板收纳容器的内侧突出的突出部。该突出部是具有沿与基板交叉的 方向倾斜且能够与基板的周缘抵接的倾斜面的结构，因此由该倾斜面，可容易地引导基 板，降低基板的磨擦，可限制基板的位置。此外，突出部优选为，在上下方向配置在邻接的基板之间，倾斜面具有在上 端形成且能够抵接一个基板的第一倾斜面；以及在下端形成且能够抵接另一基板的第二 倾斜面的结构。根据如此的结构，由配置在基板间的一个突出部，可引导在上下方向邻 接的两个基板。此外，突出部优选为，在上下方向设置在基板的两侧，设置在基板两侧的突出 部被配置为在上下方向形成大于基板的板厚的间隙的结构。根据如此的结构，在基板被 整列配置的通常状态中，基板不会与突出部抵接，只有在基板偏移的情况下，才能够使 基板与突出部抵接，可降低基板与突出部的磨擦，而抑制微粒的产生。此外，设置在基板两侧的突出部优选在左右方向配置在不同的位置。由此，基 板不会被设置在基板两侧的突出部夹住。此外，也可构成为具有接受部，该接受部从连结片向外侧突出，能够与安装有 筐体的盖体抵接，以限制所述连结片的移动。此外，接受部优选形成在连结片的中央， 且比筐体更向壁体侧的外方突出。由此，可限制连结片的移动，并限制突出部的位置。此外，本发明的基板收纳容器，其特征在于，包括容器本体，具有开口部以 收纳基板；盖体，关闭开口部；以及上述保持器，安装于容器本体的内壁或盖体上。根据如此的基板收纳容器，利用从筐体的上下方向部向内侧突出的弹性片，可 限制基板的位置，因此即使在基板的位置偏移的情况下，也可由弹性片使基板的位置返 回至原来位置。此外，包括两端部连结于筐体的左右方向部且在上下方向延伸的连结 片，在该连结片上形成有向基板收纳容器的内侧突出的突出部。该突出部是具有沿与基 板交叉的方向倾斜且能够与基板的周缘抵接的倾斜面的结构，因此利用该倾斜面，可容 易地引导基板，降低基板的磨擦，并可限制基板的位置。发明的效果根据本发明，能够提供一种可降低基板的磨擦并限制基板的位置，因此将基板 稳定保持，并可降低基板污染的危险的保持器，以及包括该保持器的基板收纳容器。
图1是本发明第一实施形态的基板收纳容器的分解立体图。图2是图1所示的基板收纳容器沿II-II线的横剖视图。图3是安装有图1中的保持器的盖体的背面图。图4是图3中的保持器的立体图。图5是扩大显示图3所示的保持器的正面图。图6是图3沿VI-VI线的剖面图。图7是显示装配在容器本体的盖体、安装于该盖体的保持器、以及在基板收纳容器内保持的基板的部分剖视图。图8是显示本发明第二实施形态的保持器、盖体、基板的部分剖视图。图9是显示本发明第三实施形态的保持器、盖体、基板的部分剖视图。图10是显示本发明第四实施形态的保持器的部分正面图。图11是显示本发明第五实施形态的保持器的部分正面图。图12是显示本发明变形例的保持器的部分正面图。图13是显示本发明第一实施形态的变形例的保持器的部分侧视图。
具体实施例方式以下请参照附图，说明本发明的保持器以及包括保持器的基板收纳容器的合适 的实施形态。此外，在附图的说明中，对相同或相当的元件标示以相同符号，并省略重 复的说明。图1是本发明第一实施形态的基板收纳容器的分解立体图，图2是图1所示 的基板收纳容器沿II-II线的横剖视图。图1以及图2所示的基板收纳容器1是，收容一枚或多枚(例如6、13、25枚) 基板W，基板W的输送、搬送、保管等使用的收纳容器。基板收纳容器1包括在正面形 成将基板W在前后方向Y可出入的开口部3、在上下方向Z以一定间隔将基板W整列收 纳的容器本体2 ；以及嵌入于该容器本体2的开口部3的自由装卸的盖体4。盖体4在前后方向Y具有既定的厚度，将在开口部3的对向的一对的周缘卡止的 卡止机构(加锁机构)15可出没地内藏。该卡止机构15根据从盖体4外部的操作出没， 可将在开口部3嵌入的盖体4加锁。此外，在盖体4的侧壁的周缘，装配有密封垫16(参 照图3)。通过将装配有密封垫16的盖体4安装在开口部3，由卡止机构15加锁，可将 基板收纳容器1的内成为密闭状态。此外，在盖体4的背面侧(基板收纳容器的内面)， 安装有将多个基板W在上下方向水平并排支撑的保持器8。此外，保持器8的详细说明 如后所述。基板收纳容器1内收容的基板W，由例如直径300mm的圆盘状的硅晶圆构成， 基板W的表里两面分别被镜面加工。基板W在由专用的机器手臂夹持左右的侧部周缘 的状态下，在容器本体2内出入。在基板W的周缘，形成有使结晶方向的判别或整列容 易的缺口 N(参照图6)。该缺口 N，在俯视中，例如形成半圆形。基板收纳容器1之中，容器本体2、盖体4、机器凸缘7、以及握把10等，可使 用例如聚丙烯、环烯烃聚合体、聚碳酸酯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸丁二 醇酯、聚醚醚酮、聚缩醛、聚醚酰亚胺等的合成树脂形成。也可在这些合成树脂或热塑 性弹性体中适量添加抗静电剂、带电性附与剂(碳、金属纤维)、紫外线吸收剂、补强剂 (玻璃纤维、碳纤维)等添加剂。容器本体2使用透明性或高刚性优良的聚碳酸酯等既定的树脂成形。容器本体 2是在正面开口的前开盒型。在容器本体2的两侧壁21的内壁面上，形成各个水平地支 撑基板W的齿17。该齿17在图示上下方向Z以既定的间距配列有多个。由该齿17， 基板W以水平状态在上下方向Z并排整列收纳。各齿17是可支撑基板W的结构即可，其形状并未限定。做为齿17的形状，能 够举出例如在俯视中为长方形、「<」字形(V字形)、半圆弧形状等。齿17具有沿基
5板W的周缘形成的架部；以及在该架部上形成，具有与基板W接触的平坦面的基板接触 部。此外，在齿17的开口部3侧，形成有限制基板W的位置的位置限制用台阶18。 通过该位置限制用台阶18、以及在容器本体2的内侧(与开口部3相反侧)可与基板W 抵接的侧壁21的内壁面部分19，可限制容器本体2内的基板W的前后方向Y的移动。如此结构的齿17，可与容器本体2—体形成，也可利用固定组件或使用磨擦卡 合，将齿17安装于容器本体2。通过这样的齿17，基板W的侧部周缘可在保持高位置 精度的同时被水平支撑，防止基板W在上下方向Z倾斜，使由机器手臂的叉进行的基板 W的出入变的容易。在容器本体2的底板(底部)的外表面，形成有用于对于既定装置(例如加工基 板的加工装置等)进行定位的定位部。定位部设置在三处，成Y字形配置。此外，在定 位部形成有V字沟(凹部)。此外，定位部的剖面形状并不限于V字形，例如可形成M 字形，逆V字形，逆Y字形或凹陷的椭圆形等。在容器本体2的顶板22的外表面，形成有在俯视中成矩形状的机器凸缘7。该 机器凸缘7可与容器本体2 —体形成，也可形成为另外的组件而成为对于容器本体2可装 卸的结构。基板收纳容器1通过机器凸缘7被称为OHT (吊运输送机)的未图示的自动 搬送机构保持，而在工场内搬送。以下详细说明保持器8。图3是安装有图1中的保持器的盖体的背面图。图4 是图3中的保持器的立体图。图5是扩大显示图3所示的保持器的正面图。图6是图3 沿VI-VI线的剖视图。图7是显示装配在容器本体的盖体、安装于该盖体的保持器、以 及在基板收纳容器内保持的基板的部分剖视图。如图3 图5所示，保持器8包括形成矩形的外形的筐体32，该筐体32具有互 相对置且在上下方向Z延伸的一对上下方向部34，以及互相对置且在左右方向X延伸的 一对左右方向部36。保持器8可由聚丙烯、聚碳酸酯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸丁二 醇酯、聚醚醚酮、聚缩醛、聚醚酰亚胺等的合成树脂，或是聚酯类热塑性弹性体、聚烯 烃类热塑性弹性体、聚苯乙烯类热塑性弹性体、聚氨酯类热塑性弹性体等各种热塑性弹 性体形成。此外，在这些树脂或热塑性弹性体中可适量添加抗静电剂、碳或金属纤维等 带电性付与剂、紫外线吸收剂、玻璃纤维或碳纤维等补强剂等添加剂。上下方向部34如图4及图5所示，具有在上下方向Z延伸的平板状的板状片 34a、从板状片34a向前后方向Y突出的多个侧壁34b。板状片34a连结于一对左右方向 部36的长度方向的两端部，将板厚度方向作为前后方向Y而配置。侧壁34b在沿着板状 片34a的上下方向Z的外侧的端部交叉，将板厚度方向作为左右方向X而形成，在上下方 向Z以既定的间距形成有多个。例如，板状片34a在侧壁34b的前后方向Y的大致中央 交叉。此外，在板状片34a的未形成侧壁34b的部分上，形成有向左右方向X的内侧凹 陷的切欠部34c。该切欠部34c在保持器8被安装于盖体4时，嵌合于盖体4上形成的突 起部，可将保持器8固定于既定的位置。此外，这些侧壁34b和切欠部34c优选被左右 对称地配置。于是，这些切欠部34c以及在盖体上形成的突起部作为当将保持器安装于 盖体时进行定位的定位部执行功能。
此外，在保持器8上，如第4图 第6图所示，从板状片34a向左右方向X的内 侧突出、可限制基板W的前后方向Y的位置的弹性片(板簧)38，在上下方向Z以既定 的间距形成有多个。弹性片38例如形成薄长方形状(横长形状)，长度方向在左右方向 X延伸。弹性片38如图6所示，以与连结于板状片34a的基端部38b侧相比，前端38a 侧向基板收纳容器1的内侧定位的方式相对于左右方向X倾斜配置。此外，弹性片38在 上下方向Z配置在与基板W位置对应的位置而且左右对称配置。在弹性片38的前端部38a，设有大致长方体，在与基板W面对的面形成保持基 板W的保持沟的保持部40。保持部40的保持沟与基板W交叉的剖面成例如V字状，沿 着基板W的周缘形成。而且，构成该保持沟的面相对于上下方向Z倾斜，可在上下方向 Z将基板W引导到既定的位置。另外，形成保持沟的面也可以是曲面，例如代替V字剖 面的保持沟，也可以是U字剖面的保持沟。 此外，保持器8包括在上下方向Z延伸且长度方向的两端部连接于左右方向部36 的连结片42。该连结片42成平板状，将板厚方向作为前后方向Y，主面与基板W的周 缘面对而配置。此外，连结片42在左右方向X配置于保持器8的中央。此外，在连结片42的基板W侧的主面，形成有向基板W侧突出的多个凸肋片 (突出部)44A、44B。凸肋片44A、44B在侧视中例如成山型(大致梯形)。该凸肋片 44A、44B分别配置在上下方向Z邻接的基板W之间。凸肋片44A、44B成平板状，板 厚方向成左右方向X而配置，上下方向Z的端面构成对与基板W交叉的方向倾斜的倾斜 面44e、44f。BP,作为凸肋片44A、44B的上端面的倾斜面44e(第一倾斜面)，以凸肋 片44A、44B的前端侧(基板收纳容器1的后方侧)与凸肋片44A、44B的基端侧(连结 片42侧)相比在上下方向Z位于更下方的方式倾斜。此外，作为凸肋片44A、44B的下 端面的倾斜面44f(第二倾斜面)，以凸肋片44A、44B的前端侧(基板收纳容器1的后方 侧)与凸肋片44A、44B的基端侧(连结片42侧)相比在上下方向Z位于更上方的方式 倾斜。此外，在上下方向Z邻接的凸肋片44A、44B在左右方向X配置于不同位置。具 体而言，凸肋片44A比基板收纳容器1的中央靠近图示右侧(参照图5)而配置，凸肋片 44B比基板收纳容器1的中央靠近图示左侧而配置。S卩，如图6所示，凸肋片44A、44B 在左右方向X分离，在上下方向Z配置在与基板W的缺口 N不重迭的位置。此外，右 侧配置的凸肋片44A以及左侧配置的凸肋片44B在上下方向Z交互配置，如图5所示， 分别在同一直线上排列。此外，保持器8如图7所示，基板W在既定的位置整列配置的通常状态中，凸肋 片44A、44B的倾斜面44e、44f是配置于与基板W不抵接的位置。具体而言，在上下方 向Z邻接的凸肋片44A、44B的间隔P大于基板W的板厚t。此外，如图4所示，配置 于最上段的凸肋片45A，在上下方向Z中为半割的形状，具有朝向下方的倾斜面44f，配 置于最下段的凸肋片45B，在上下方向Z中为半割的形状，具有朝向上方的倾斜面44e。 此外，凸肋片44A、44B的前端部如图6所示，通常时，设置为在上下方向Z与基板W 的周缘一部分重迭。其次，说明如此构成的保持器8对基板W的位置限制。通常状态中，基板W如 图2所示，由齿17支撑左右方向X的周缘部，在基板收纳容器1内水平保持。此时，基板W由位置限制用台阶18限制向前方的移动，由侧壁21的内壁面部分19限制向后方的 移动。此外，该通常状态中，基板W如图6所示，由弹性片38支撑的保持部40保持前 方侧的周缘部，限制向前方侧的移动。此外，基板W如图8所示，在上下方向Z配置于 凸肋片44A、44B之间，与凸肋片44A、44B成未接触的状态。在此，例如在基板收纳容器1向前方侧(保持器8侧)倾斜等情况下，当使基板 W向前方移动的力作用时，基板W由弹性片38所产生的复原力，向后方压回，而返回到 与通常状态相同的位置。此外，如图7所示，在基板W向前方侧移动的情况下，基板W与保持器8的连 结片42的基板W侧的主面抵接，如上所述，由弹性片38所产生的复原力，向后方压回， 而返回到与通常状态相同的位置。此外，在基板W的前方侧向上方倾斜的情况下，基板W与保持器8的连结片42 的凸肋片44A、44B的倾斜面44f抵接。于是，基板W由倾斜面44f限制移动，在上下方 向Z中被引导至邻接的凸肋片44A、44B的中间位置，而返回到与通常状态相同的位置。同样地，在基板W的前方侧向下方倾斜的情况下，基板W与保持器8的连结片 42的凸肋片44A、44B的倾斜面44e抵接。于是，基板W由倾斜面44e限制移动，在上 下方向Z中被引导至邻接的凸肋片44A、44B的中间位置，而返回到与通常状态相同的位 置。包括如此的保持器8的基板收纳容器1，由从筐体32的上下方向部34向内侧突 出的弹性片38，可限制基板W的前后方向的位置，因此即使在基板W的位置偏移的情况 下，也可由弹性片38将基板W的位置返回至原来的位置。此外，保持器8包括长度方 向(图示上下方向Z)的两端部与筐体32的左右方向部36连结且在上下方向Z延伸的连 结片42，在该连结片42上形成有向基板收纳容器1的内侧突出的多个凸肋片44A、44B。 该凸肋片44A、44B是具有可与基板W的周缘抵接的倾斜面44e、44f的结构，由该倾斜 面44e、44f，可容易地引导基板W至与通常状态相同的位置，可降低基板W的磨擦，并 限制基板W的位置。此外，凸肋片44A、44B在上下方向Z配置在邻接的基板W之间，因此由一个 凸肋片44A、44B，可引导在上下方向Z邻接的两个基板W。如此，可减少组件个数， 达到简化的结构，可抑制制造成本。此外，凸肋片44A、44B在上下方向Z形成大于基板W的板厚t的间隙而配置， 因此在基板W整列配置的通常状态中，基板W与凸肋片44A、44B不会抵接，只有在基 板W偏移的情况下，基板W才与凸肋片44A、44B抵接。如此的配置可使基板W与凸 肋片44A、44B的磨擦降低，而抑制微粒的产生。此外，将基板W夹持而在上下方向Z的两侧设置的凸肋片44A、44B在左右方 向配置在不同的位置，因此基板W不会被在上下方向A邻接的凸肋片44A、44B夹住。在此，参照第13图，说明第一实施形态的变形例的保持器70。在弹性片38的 前端部38a设置的保持部72的保持沟，除了如第一实施形态的保持部40的保持沟的V字 状之外，可以为包括如13所示的二段倾斜面的形状。此时，保持沟的开口部侧的相互面 对的倾斜面72a所成的角度0 1，为了限制基板W的位置，优选设定在100° 120°的 范围内。如果角度ei在100°以上，可将从保持沟偏离的基板W以较广的范围导入保持沟内。此外，如果角度0 1在120°以下，基板W不会搭在倾斜面的中途而可确实地 引导至保持沟内。此外，保持沟的内部的倾斜面72b所成的角度9 2，优选设定在35° 55°的范 围内以能够稳定地保持基板W。如果角度02在35°以上，可防止当基板W在保持沟 夹持而拆除盖体4时基板W由保持器70拉出。此外，如果角度0 2在55°以下，可在 振动等时使基板W难以从保持沟飞出。此外，保持沟的深度h优选是基板半径的1.5% 3.0%的深度。例如，半径 150mm(直径300mm)的基板W的场合，深度h设定为2.25mm 4.5mm。如果深度h 在2.25mm以上，可在振动等时使基板W难以从保持沟飞出。如果深度h在4.5mm以 下，可防止保持部72成为从盖体4的表面飞出的大小且不损失弹性片38的弹簧性。其次，参照图8，说明本发明第二实施形态的保持器。图8是显示本发明第二实 施形态的保持器、盖体、基板的部分剖视图。该第二实施形态的保持器50与第一实施形 态的保持器8的不同点，在于具有从连结片42向前方突出的接受部52。接受部52，具体而言，在连结片42的与盖体4相对的主面上形成，朝向盖体4 突出。该接受部52在侧视中成例如梯形，在上下方向以既定的间距设置有多个。在上 下方向Z，对应于凸肋片44A的位置设置。此外，接受部52在左右方向X配置于连结 片42的中央。此外，接受部52的形状不限定，重要的是，可抵接于盖体4即可。如此的第二实施形态的保持器50也可达到与第一实施形态相同的作用效果。进 一步地，在第二实施形态的保持器50中，由于形成从连结片42向前方突出的接受部52， 通过使盖体4与接受部52抵接，可限制连结片42向前方的移动。如此，可抑制连结片 42向前方的移动，将基板W的移动更适当限制，可降低基板W的磨擦。此外，接受部 52优选是比保持器50的侧壁34b更向前方侧(壁体4侧)突出的结构。由此，可使连结 片42的前后方向Y的移动量更加降低。此外，通过改变接受部52的高度(前后方向Y 的长度)，可适当调节连结片42的前后方向的位置。此外，接受部52从前后方向Y观 察，可为圆形、矩形、平板状，也可为其它形状。其次，参照图9，说明本发明第三实施形态的保持器。图9是显示本发明第三实 施形态的保持器、盖体、基板的部分剖视图。该第三实施形态的保持器54与第二实施形 态的保持器50的不同点，在于接受部56的形状不同。接受部56，具体而言，在连结片42与盖体4相对的主面上形成，朝向盖体4突 出。该接受部56在上下方向Z中央部56a的高度(前后方向Y的长度)最高，形成有朝 向上下方向Z的两端部倾斜的斜边56b。如此的结构中，可适当限制前后方向Y的移动 量最大的中央部56a的位置。此外，取代在侧视中直线状的斜边56b，也可为弯曲形状。其次，参照图10，说明本发明第四实施形态的保持器。图10是显示本发明第四 实施形态的保持器的部分正面图。此外，保持器的正面是指基板W侧的面。第四实施 形态的保持器58与第一实施形态的保持器8的不同点，在于具有与凸肋片44A、44B形 状和位置不同的凸肋片(突出部)60A、60B。具体而言，第四实施形态的保持器58的凸肋片60A、60B形成为块状，较第一 实施形态的凸肋片44A、44B在左右方向X具有宽度。此外，凸肋片60A、60B的侧面形 状，是与凸肋片44A、44B相同的形状，例如形成山型(大致梯形)。此外，上下方向Z的端面构成沿与基板W交叉的方向倾斜的倾斜面60e、60f。 BP,作为凸肋片60A、60B 的上端面的倾斜面60e (第一倾斜面)，以凸肋片60A、60B的前端侧(基板收纳容器1的 后方侧)与凸肋片60A、60B的基端侧(连结片42侧)相比位于更下方的方式倾斜。此 外，作为凸肋片60A、60B的下端面的倾斜面60f(第二倾斜面)，以凸肋片60A、60B的 前端侧(基板收纳容器1的后方侧)与凸肋片60A、60B的基端侧(连结片42侧)相比 位于更上方的方式倾斜。此外，凸肋片60A、60B沿上下方向Z配置两列，凸肋片60A配置于图示右侧， 凸肋片60B配置于图示左侧。此外，凸肋片60A、60B从上下方向Z观察，在左右方向 X—部分重迭地配置。例如，在左右方向X约一半重迭地配置。此外，凸肋片60A、 60B的倾斜面60e、60f优选与在基板W形成的缺口 N(参照第6图)的左右方向X的宽 度相比以更广的范围而形成。如此构成的第四实施形态的保持器58也可达到与第一实施 形态的保持器8相同的作用效果。其次，参照图11，说明本发明第五实施形态的保持器。图11是显示本发明第五 实施形态的保持器的部分正面图。该第五实施形态的保持器62与第一实施形态的保持器 8的不同点，在于支持保持部40的结构不同，取代由单臂梁结构支撑的保持部40，而具 有由双臂梁结构支撑的保持部40。第五实施形态的保持器，包括从左右方向X的内侧支撑保持部40的连结弹性片 64。连结弹性片64在左右方向X延伸，一个端部64a连结于连结片42，另一端部64b连 结于保持部40。于是，保持部40由弹性片38以及连结弹性片64从左右方向X的两侧 支撑。如此构成的第五实施形态的保持器62也可达到与第一实施形态的保持器8相同的 作用效果。其次，参照图12，说明本发明变形例的保持器。图12是显示本发明变形例的 保持器的正面图。变形例的保持器66与第一实施形态的保持器8的不同点，在于取代连 结片42而包括将在左右方向X邻接的保持部40连结的连结弹性片68，凸肋片44A、44B 跨越在上下方向邻接的两个连结弹性片68而固定。如此结构的场合中，为限制凸肋片 44A、44B向前方的移动，优选形成从连结弹性片68朝向盖体4突出的接受部(52、56)。以上对本发明根据其实施形态进行具体说明，然而，本发明并不限于上述的实 施形态。上述实施形态中，是将本发明的基板收纳容器作为收纳半导体晶圆的装置而进 行说明，然而作为收纳物的基板并不限定为半导体晶圆，也可以是光罩玻璃等其它精密 基板。此外，收容的基板的大小不限定于300mm，也可以是例如450mm等其它大小。 此外，收纳枚数也不限于1 25枚，也可以是26枚以上。此外，上述实施形态中，是将保持器8安装于盖体4的背面侧的基板收纳容器 1，然而保持器8的安装位置也可以在容器本体2的侧壁21的内壁面、背面壁的内壁面。此外，作为将保持器8安装于盖体4时的定位部的定位突起和定位凹部，是设置 在筐体32的上下方向部34中左右对称的位置，然而也可左右不对称地形成定位部。如 此左右不对称地形成定位部的场合，当安装保持器8时，由于在上下方向Z出现方向性， 可使基板W与形成保持部40的保持沟的壁面精度良好地抵接。此外，即使在包括左右 对称的定位部的场合，也可通过进一步地形成非对称的定位部，防止在上下方向的安装 差错。
此外，盖体与保持器的定位部，或是保持器的卡止爪，不只在一个侧壁，也可 以形成在另一侧壁上。此外，通过在筐体的一部分上具有可向上方弯曲的弯曲部的结 构，可使保持器的安装或拆除容易。此外，取代在保持器50、54的背面侧设置的接受部52、56，也可通过将接受部 形成在盖体4的背面(保持器侧的主面)，以限制连结片42，凸肋片44A、44B向前方的 移动。[实施例]其次通过实施例对本发明做更详细的说明，然而，本发明并不限定于实施例。<实施例一 >首先，准备包括第一实施形态的保持器8 (参照图4)的基板收纳容器1，在该基 板收纳容器1中收纳25枚基板W。收纳的各基板W由齿17水平地支撑。然后，将如此收纳有各基板W的基板收纳容器1的底面从基准面举起10cm，在 底面向下的状态将基板收纳容器1垂直落下，确认是否有基板W从保持器8脱落或基板 W的破损。此外，每次将落下高度提高10cm，同样落下，直到基板W从保持器8脱落 或基板W的破损发生为止，以确认所能承受的最大落下高度。<实施例二 >第一实施形态的变形例的保持器70，其中保持部72的保持沟具有二段倾斜面 72a、72b的(参照图13)，准备包括保持器70的基板收纳容器，与第一实施例相同，在 基板收纳容器中收纳25枚基板W。然后，对该基板收纳容器进行与实施例一相同的落下试验。<实施例三>准备包括第二实施形态的保持器50的基板收纳容器(参照图8)，与实施例一相 同，在基板收纳容器中收纳25枚基板W。然后，对该基板收纳容器进行与实施例一至二 相同的落下试验。<实施例四>准备包括第三实施形态的保持器54的基板收纳容器(参照图9)，与实施例一相 同，在基板收纳容器中收纳25枚基板W。然后，对该基板收纳容器进行与实施例一至三 相同的落下试验。<实施例五>准备包括第四实施形态的保持器58的基板收纳容器(参照图10)，与实施例一相 同，在基板收纳容器中收纳25枚基板W。然后，对该基板收纳容器进行与实施例一至四 相同的落下试验。<实施例六>准备包括第五实施形态的保持器62的基板收纳容器(参照图11)，与实施例一相 同，在基板收纳容器中收纳25枚基板W。然后，对该基板收纳容器进行与第实施例一至 五相同的落下试验。<比较例>将从第一实施形态的保持器8取下连结片42的保持器作为比较用保持器，准备 包括该比较用保持器的基板收纳容器。然后，对该基板收纳容器进行与实施例一至六相同的落下试验。上述实施例一 实施例六的落下试验以及比较例的落下试验的结果，如表一所不。[表一]
权利要求
1.一种保持器，设置在收纳基板的基板收纳容器上，保持板厚方向沿上下方向且以 一定间隔被整列地支撑的基板，其特征在于，包括筐体，具有在上下方向延伸的一对上下方向部以及在与所述一对上下方向部交叉的 左右方向延伸的一对左右方向部；弹性片，从所述上下方向部向内侧突出，能够限制所述基板的位置； 连结片，在上下方向延伸，且两端部连接于所述左右方向部；以及 突出部，形成有沿与所述基板交叉的方向倾斜且能够与所述基板的周缘抵接的倾斜 面，从所述连结片向所述基板收纳容器的内侧突出。
2.根据权利要求1所述的保持器，其特征在于， 所述突出部在上下方向配置在邻接的基板之间， 所述倾斜面具有在上端形成且能够抵接一个基板的第一倾斜面；以及 在下端形成且能够抵接另一基板的第二倾斜面。
3.根据权利要求1或2所述的保持器，其特征在于， 所述突出部在上下方向设置在基板的两侧，设置在基板两侧的突出部被配置为在上下方向形成大于基板的板厚的间隙。
4.根据权利要求3所述的保持器，其特征在于，设置在基板两侧的所述突出部在左右方向配置在不同的位置。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的保持器，其特征在于，具有接受部，该接受部从所述连结片向外侧突出，能够与安装有所述筐体的壁体抵 接，以限制所述连结片的移动。
6.根据权利要求5所述的保持器，其特征在于，所述接受部形成在所述连结片的中央，且比所述筐体更向所述壁体侧的外方突出。
7.—种基板收纳容器，其特征在于，包括 容器本体，具有开口部以收纳基板； 盖体，关闭所述开口部；以及根据权利要求1至6中任一项所述的保持器，安装于所述容器本体的内壁或所述盖体上。
全文摘要
一种保持器及包括保持器的基板收纳容器。利用从筐体(32)的上下方向部(34)向内侧突出的弹性片(38)，可限制基板位置，从而在基板的位置偏移的情况下，也可使基板的位置返回至原来位置。此外，设有两端部连结于筐体(32)的左右方向部36且在上下方向Z延伸的连结片(42)，在该连结片42)上设有向基板收纳容器的内侧突出的突出部(44A、44B)。而且，通过使该突出部(44A、44B)为具有沿与基板交叉的方向倾斜且能够与基板的周缘抵接的倾斜面(44e、44f)的结构，利用该倾斜面(44e、44f)，引导基板，降低基板的磨擦，限制基板的位置。
文档编号H01L21/673GK102017118SQ20098011475
公开日2011年4月13日 申请日期2009年4月10日 优先权日2008年4月25日
发明者中山孝行, 细井正人 申请人:信越聚合物株式会社