技术编号:7206740
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及适宜在个人电脑用DRAM存储器、手机用层叠电容器、晶体管用栅绝缘 体等电子材料的广泛领域中应用的、可以同时实现高介电常数和良好的绝缘特性的电介质 膜、电介质元件及其制造方法。背景技术在电介质元件内,高介电常数的元件利用于计算机、手机等所有的电子设备,在存 储器、晶体管栅绝缘膜等电子设备的关键部分起到积极作用。目前的个人电脑、手机等电子 设备的显著发展,取决于电介质元件的高功能化。至今电介质元件的开发和高功能化通过 由最前沿的成膜技术和半导体加工技...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。