技术编号:7206873
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及将碳纳米管作为通道的。 背景技术碳纳米管(以下称为“CNT”)是通过手性(chirality)而表现出半导体特性或金 属特性的、由碳原子构成的管状物质。CNT具有数纳米的直径,且其电流密度较高,因此可以 形成一维传导的非常细的配线,期待将其应用于高速动作的量子元件(device)。近年来,正 在积极地开展将表现出半导体特性的CNT作为场效应晶体管(以下称为“FET”)的通道的 研究(例如,参照专利文献1)。将CNT作为通道的碳纳米管场效应晶体管(...
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