技术编号:7207886
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明总体涉及物体的检查。具体来讲,本发明涉及一种检查晶片(wafer)缺陷 的装置和方法。背景技术太阳能电池厂商在其太阳能晶片上进行例行检查。这是为了确保识别出任何有缺 陷的太阳能电池,以控制太阳能电池的质量。太阳能晶片是在制造太阳能电池的过程中通常使用的硅晶体薄片。太阳能晶片充 当了太阳能电池的基板,并且在成为可用的太阳能电池之前要经受一系列的制造工艺,例 如,沉积、刻蚀以及构图。因此,为了提高产品生产率(production yield)并降低生产成...
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