技术编号：7209019
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于通过压印法形成图案的能量线固化型或热固化型的转印材料用固化性组合物、以及采用了该转印材料用固化性组合物的图案形成方法。背景技术作为半导体制造工艺、图案化介质等磁记录介质制造工艺等中的微细图案形成方法，纳米压印技术备受关注，人们需要用于该纳米压印技术的优异的转印材料。作为纳米压印用转印材料，一般使用聚甲基丙烯酸甲酯等热塑性树脂，在该情况下，一般工序是将涂布上的材料加热至玻璃化转变温度以上，进行压纹，冷却后取下模具。 然而，这样的方法存在非常费时...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。