技术编号:7212430
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及具有透明导电膜的半导体发光元件,尤其涉及将透明导电膜用于电流扩展层的高亮度的半导体发光元件。背景技术 近年来,由于可以采用MOVPE法生长GaN系或AlGaInP系的高品质晶体,因而,以往作为半导体发光元件的发光二极管(以下简称LED)现在已经可以制作成蓝色、绿色、橙色、黄色、红色的高亮度LED。但是,为了得到高的亮度,必须改善电流扩展特性,以使电流能够均匀地注入LED的芯片面内。为达到这个目的,需要使电流扩展层生长成比较厚的膜厚。例如,对于Al...
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