技术编号：7213506
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在进行各种处理的工站之间运送玻璃基板或半导体晶片等基板的运送处理装置。背景技术 作为在玻璃基板或半导体晶片等的基板表面涂敷抗蚀剂液或SOG等各种涂敷液的方法，普遍采用在向基板的中心部滴下涂敷液之后，通过旋转基板，利用离心力使滴在中心部的涂敷液扩散到基板的整个面的旋转涂敷方法(所谓的旋涂)。作为上述旋涂，在专利文献1中公开了如下方式，接着定位工站(alignment station)配置涂敷兼旋转工站，在同一工站进行涂敷和旋转。此外，在专利文献2中...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。