半导体装置的制造方法技术资料下载

技术编号:7214513

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本发明涉及使用剥离方法的。背景技术 现有的薄型中有一种例子,即在耐热性高的衬底和薄膜集成电路的基底绝缘层之间设置金属氧化膜,并通过晶化将该金属氧化膜脆弱化而使薄膜集成电路剥离,且利用粘合剂将另外准备的柔性衬底与薄膜集成电路的基底绝缘层贴在一起(例如,参照专利文件1)。日本专利申请公开2005-229098号公报然而,在基底绝缘层由无机绝缘层如氧化硅膜或氮化硅膜而形成,且粘合剂由有机化合物如聚合物或有机树脂而形成的情况下,会发生一个问题,即,基底绝缘层和粘合...
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