技术编号：7214754
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种经由光罩薄膜对基板曝光的曝光装置，特别是涉及一种曝光室内的空气循环环境佳的曝光装置。背景技术 在已知技术中，在曝光装置使用的基板为例如用于电子电路基板的大约只有0.05mm的厚度，且其电路图案也朝细微化的方向发展。而且，在曝光装置的作业动作中，在形成电路图案的光罩与基板密合的状态下，通过照射包含既定波长的紫外线的光线，正确地将光罩薄膜的电路图案曝光于基板上。在此，参照图7说明已知的曝光装置的构造。图7为已知的曝光装置的曝光室内的侧视图。如图7...
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