技术编号：7220050
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型系指一种晶圆干燥机的顶移装置，系可在干燥过程中藉该顶高装置连动各晶圆定速上下定位位移以增进干燥效果。目前习用的晶圆干燥机的晶圆顶移装置，另配合参考附附图说明图1～图6所示，其中晶圆架系设在固定座97的两对定位块972、973上方，主要是将晶圆架3(参考图8)上方的晶圆6顶移至适当高度以利于干燥作业。此种顶移装置9包括有传动杆94、架板95、连动片96、固定座97、顶移座98、枢接块99等构件，其中固定座97的上方并设有一对定位块972、973以供...
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