专利名称：改进的晶圆干燥机的顶移装置的制作方法
技术领域：
本实用新型系指一种晶圆干燥机的顶移装置，系可在干燥过程中藉该顶高装置连动各晶圆定速上下定位位移以增进干燥效果。
目前习用的晶圆干燥机的晶圆顶移装置，另配合参考附
图1～图6所示，其中晶圆架系设在固定座97的两对定位块972、973上方，主要是将晶圆架3(参考图8)上方的晶圆6顶移至适当高度以利于干燥作业。此种顶移装置9包括有传动杆94、架板95、连动片96、固定座97、顶移座98、枢接块99等构件，其中固定座97的上方并设有一对定位块972、973以供嵌设晶圆架3，当干燥槽8的槽盖81盖合时即可由槽盖81底面向下顶靠传动杆94的上端940使其向下位移，进而可由传动杆94的连动片96传动顶移座98的枢接块99，相对使该顶移座98可枢转，并恰可由其上方顶移锥部982向上顶起晶圆架3所设晶圆6(参考图4、图5)以利于晶圆6的干燥作业，当干燥作业完成时，槽盖81向上掀起时可藉由晶圆6的重量恢复原位(参考图6)；但经查前述晶圆干燥机的晶圆顶高装置乃存在有如下缺失1、晶圆架3的各晶圆6被顶移座98向上顶起后是固定不动，因此各晶圆6与其各定位槽31以固定的角度接触被干燥，因此难免有小部分的死角未能完全干燥。
2、晶圆架3的各定位槽31内的各晶圆6有时候会因残留有些许清洁液体导致相邻的两片晶圆6的一侧61会相对附粘(参考图8)而造成干燥死角。
3、构件较复杂，相对组合装配亦较麻烦。
4、顶靠各晶圆6向上位移是由槽盖81底面、传动杆94、枢接块99、顶移座98等多构件的连动，因此使用一段时间之后比较容易因其中之一构件损坏的影响而造成故障。
本实用新型的目的是提供一种可克服上述缺失的改进的晶圆干燥机的顶移装置，其结构简单、组装方便，并可确保晶圆良好、完全的干燥效果。
为现实上述目的，本实用新型提供一种改进的晶圆干燥机的顶移装置，系设于干燥机的干燥槽内，可将晶圆架上方的晶圆顶移以配合干燥槽内的干燥作业；包括有一传动杆、顶移座以及设有若干定位块可供架设晶圆架的固定座等；其特征点是该传动杆的上端直接与顶移座的底部预设的嵌槽嵌套连接，而其下方则穿套入一轴套内，且该传动杆的下方并具有内螺牙孔可直接与一汽缸的轴心的外螺牙部旋锁连结，并另藉螺丝将该汽缸与前述轴套锁固连结，另外所述固定座预设有一贯穿槽孔，对应位于顶移座的下方。
现配合图式详加说明如后图1是习用晶圆干燥机的外观立体示意图。
图2是习用晶圆干燥机的侧面示意图。
图3是习用晶圆干燥机的正面示意图。
图4是习用晶圆干燥机其中顶移装置的立体示意图(传动杆已下移)。
图5是习用晶圆干燥机其中顶移装置的平面示意图(传动杆已下移且连动晶圆向上顶起)。
图6是习用晶圆干燥机其中顶移装置的平面示意图(晶圆已恢复原位)。
图7是一般晶圆架的立体示意图。
图8是晶圆架的晶圆被顶移装置向上顶起的立体示意图。
图9是本实用新型实施例的晶圆干燥机的外观立体示意图。
图10是本实用新型实施例的晶圆干燥机的侧面示意图。
图11是本实用新型实施例的晶圆干燥机的正面示意图。
图12是本实用新型实施例其中顶移装置的立体示意图(传动杆已上移)。
图13是本实用新型实施例其中顶移装置的平面示意图(传动杆已下移且连动晶圆向上顶起)。
图14是本实用新型实施例其中顶移装置的平面示意图(晶圆已恢复原位)。
图15是本实用新型实施例其中顶移装置的部分构件立体分解图。
如图9～图15所示，本实用新型晶圆干燥机的顶移装置，其中该顶移装置1是设在干燥机2的干燥槽20内的预定部位，可提供将晶圆架3上方的晶圆6顶移以配合干燥槽20内的干燥作业，包括有一传动杆19、顶移座17以及设有若干定位块182、183可供架设晶圆架3的固定座18等构件；请参阅图12、图13、图14、图15所示，该传动杆19是上方194直接与顶移座17的底部预设有嵌槽173嵌套连接，而其下方195则穿套入一轴套91内，且该传动杆19的下方195并具有内螺牙孔193可直接与一汽缸92的轴心921的外螺牙部9211旋锁连结，并另藉螺丝93将该汽缸92与前述轴套91锁固连结，另外前述固定座18并预设有一贯穿槽孔184大致对应位于顶移座17的下方，藉由前述构件的组成，当汽缸92作动时，其轴心921经控制而连同其锁固连结的传动杆19直接向上或向下连动顶移座17以预定的速度位移；藉由前述特征，当干燥槽20的槽盖21盖合时，可控制汽缸92的轴心921向上作动，相对使传动杆19可直接带动顶移座17以适当的速度向上顶起晶圆架3的各定位槽31所设有的各晶圆6；而在干燥槽20进行干燥作业时亦可控制汽缸92作动，使其轴心921可连同其锁固连结的传动杆19连动顶移座17以适当的速度上下连动晶圆架3内的各晶圆6做定速上下位移；又当槽盖21向上掀起时亦可经控制而使汽缸92的轴心向下作动，相对连动各晶圆6恢复原位。
综上所述，本实用新型可归纳具有下列增进功效1、在干燥作业时，顶移装置1的顶移座17可连动各晶圆6作上下定速位移，进而使上下位移中的各晶圆6会在各晶圆架3的各定位槽31内产生些微的摆动而改变与各定位槽31的槽壁面的接触角度，使各晶圆6不会在固定角度下完成干燥以具有较佳的干燥效果。
2、若因有些许水份导致相邻接的两片晶圆6的一侧粘附在一起的情形产生时也会因前述晶圆6被上下定位连动所产生的些微摆动而分开，以确保较完全的干燥效果。
3、构件简单组装方便，且汽缸92的轴心921直接锁固传动杆19并带动顶移座17以定速连动各晶圆6，相对降低故障率。
权利要求一种改进的晶圆干燥机的顶移装置，该顶移装置设在干燥机的干燥槽内，可将晶圆架上方的晶圆顶移以配合干燥槽内的干燥作业，包括有一传动杆、顶移座以及设有若干定位块可供架设晶圆架的固定座等；其特征在于该传动杆是上方直接与顶移座的底部预设的嵌槽嵌套连接，而其下方则穿套入一轴套内，且该传动杆的下方并具有内螺牙孔可直接与一汽缸的轴心的外螺牙部旋锁连结，并另藉螺丝将该汽缸与所述轴套锁固连结，另外所述固定座预设有一贯穿槽孔，对应位于顶移座的下方。
专利摘要一种改进的晶圆干燥机的顶移装置,该顶移装置设在干燥机的干燥槽内,可将晶圆架上方的晶圆顶移以配合干燥槽内的干燥作业;其中,该传动杆上方直接与顶移座底部预设的嵌槽嵌套连接,而其下方则穿套入一轴套内,且该传动杆下方具有内螺牙孔可直接与一汽缸的轴心的外螺牙部锁结,前述固定座预设有一贯穿槽孔大致对应位于顶移座的下方;其构件简单组装方便,并可确保晶圆的干燥效果。
文档编号H01L21/67GK2465322SQ0120306
公开日2001年12月12日 申请日期2001年2月2日 优先权日2001年2月2日
发明者刘国炳, 贺贵虎 申请人:集贤实业有限公司