技术编号：7223545
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及纳米结构及其生长方法。本发明特别涉及对纳米结构(例如碳 纳米纤维)生长的控制方法，该方法可以生产利用这样的纳米结构作为互联线 和散热媒介的半导体器件。背景技术对于微型化的不懈追求使得传统的CMOS (互补金属氧化物半导体)器件 面临由量子现象决定其特性的限制；在此情况下，难以达到理想的控制。上述 问题引发了寻找替代的新材料以制造与现有CMOS器件性能相同甚至更好，而 且更便于控制的器件的需求。迄今为止，CMOS器件的微型化由通常称为摩尔定律的趋势...
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