技术编号：7227730
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种，具体涉及一种在硅基板上制备(110)优先取向的Pt底部电极，然后在(110)取向Pt上制备高度(110)取向钙钛矿型铁电薄膜的制备方法。属薄膜制备。背景技术 铁电和压电材料是一种重要的功能材料，其陶瓷块体材料已在电介质材料，传感器和驱动器方面获得非常广泛的应用。将铁电/压电陶瓷集成化，其应用将更为广泛，它可以在微电子技术中用作移相器、延迟线、可调滤波器和非挥发性铁电存储器(FRAM)的材料；微机电技术(MEMS)中用作驱动器和传感器的材料，...
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