技术编号:7231613
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种,且特别是涉及一种预约用以处理特殊批 货所需要的机台的。背景技术随着半导体产业的竟争日趋激烈,为了缩短生产时间以增加公司营收, 如何更有效地管理芯片厂内的各式机台、避免堆货情况产生进而使各个机台 发挥最大的产能,对于现今的半导体业者来说无疑是最重要的课题之一。以目前处理批货(Lot)的流程为例,当在制品(Wafer-In Process, WIP)到 达芯片厂内的各个站点时,必须等待站点中的机台闲置后才能开始进行批货 处理。然而,对于一批具有...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。