专利名称：机台预约方法
技术领域：
本发明涉及一种机台预约方法，且特别是涉及一种预约用以处理特殊批 货所需要的机台的机台预约方法。
背景技术：
随着半导体产业的竟争日趋激烈，为了缩短生产时间以增加公司营收， 如何更有效地管理芯片厂内的各式机台、避免堆货情况产生进而使各个机台 发挥最大的产能，对于现今的半导体业者来说无疑是最重要的课题之一。以
目前处理批货(Lot)的流程为例，当在制品(Wafer-In Process, WIP)到 达芯片厂内的各个站点时，必须等待站点中的机台闲置后才能开始进行批货 处理。
然而，对于一批具有较高等级，且必须快速知道处理过程及结果的在制 品来说，为了降低在各个站点等待机台闲置以供处理批货的时间，现行的作 法是必须通过人为操作来设定系统，进而让此在制品所需要的机台预先闲置 下来等待在制品到站。当在制品到站后，同样必须再以人为操作的方式将机 台切换回可以处理批货的状态，接着再进行批货处理流程。
由上所述不难发现，为了因应特殊批货的处理需求，必须以人工的方式 操作部份机台预先进入闲置状态以等待在制品到站。然而，价格动辄数百万 的机台 一旦闲置下来不仅会影响 一般批货的生产计划，同时更会降低机台本 身的产能，进而造成公司莫大的损失。
发明内容
有鉴于此，本发明提供一种机台预约方法，能事先预约处理特殊批货所 需要的机台，据以减少处理特殊批货所需要的时间。
本发明提出一种机台预约方法，此方法包括下列步骤首先根据历史记 录计算特殊批货在每个站点的处理时间及相邻站点之间的传送时间。接着，
依据处理时间及传送时间，预测特殊批货到达每个站点的到站时间。对于每个站点，再以对应的到站时间与站点中每个机台的机台状态，计算每个机台 的占用率。最后根据占用率来预约机台。
依照本发明的较佳实施例所述的机台预约方法，其中，历史记录包括每 个机台每次处理批货的处理周期及生产周期，而计算特殊批货在每个站点的 处理时间包括根据站点的每个机台的处理周期及生产周期来计算处理时间。
依照本发明的较佳实施例所述的机台预约方法，其中，计算特殊批货在 相邻站点之间的传送时间的步骤包括根据传送机制及传送速率计算传送时 间。
依照本发明的较佳实施例所述的机台预约方法，其中，预测特殊批货到 达每个站点的到站时间的步骤包括对于每个站点，以位于站点上游的所有站 点的处理时间，以及位于站点上游的所有相邻站点之间的传送时间的总和做 为到站时间。
依照本发明的较佳实施例所述的机台预约方法，其中，在预测特殊批货 到达每个站点的到站时间的步骤之后更包括判断到站时间是否小于最长预约时间。
依照本发明的较佳实施例所述的机台预约方法，其中，历史记录包括每 个机台每次处理批货的处理周期及生产周期，而计算每个机台的占用率的步 骤包括判断机 台状态为处理状态，并根据到站时间、剩余处理时间，及机台 的上述生产周期的平均值来计算占用率。其中，以机台的处理周期及目前时
间来计算剩余处理时间，并计算占用率=(Arrival—T-Remained—T) /Avg—TC, 而Arrival—T为到站时间，Remained—T为剩余处理时间，Avg—TC为生产周期 的平均值。
依照本发明的较佳实施例所述的机台预约方法，其中，历史记录包括每 个机台每次处理批货的处理周期及生产周期，而计算每个机台发占用率的步 骤包括判断机台状态为闲置状态，并根据到站时间、机台发上述处理周期的 最大值，及机台的上述生产周期的平均值来计算占用率。其中，计算占用率-(Arrival —T Max—TM) /Avg—TC, Arrival-T为到站时间,Max—TM为处理周 期的最大值，而Avg—TC为生产周期的平均值。
依照本发明的较佳实施例所述发机台预约方法，其中，根据占用率预约 机台的步骤包括预约具有最小的占用率，且占用率小于1的机台。
依照本发明的较佳实施例所述的机台预约方法，其中，根据占用率预约机台的步骤更包括根据每个机台的机台特性来预约机台。
依照本发明的较佳实施例所述的机台预约方法，其中，在预约机台的步 骤之后更包括当特殊批货到达站点时，以预约的机台处理特殊批货，并将预 约的机台处理特殊批货的处理周期及生产周期记录于历史记录。
本发明根据历史记录预测特殊批货到达站点的时间，并同时根据此到站 时间以及站点中各个机台的状态，来预约适于处理特殊批货的机台，从而避 免特殊批货到达站点后必须等待需要的机台闲置所耗费的时间，据以达到缩 短特殊批货的生产周期的目的。
为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并 配合附图，作详细说明如下。
图1是依照本发明较佳实施例所绘示的机台预约方法的流程图。
图2是依照本发明较佳实施例所绘示的机台占用率的计算方法的流程图。
图3是依照本发明另一较佳实施例所绘示的机台占用率的计算方法的流 程图。
附图符号说明
110 ~ 170:本发明的较佳实施例所述的机台预约方法的各步骤
210 - 220:本发明的较佳实施例所述的机台占用率的计算方法的各步骤
310 - 320:本发明的另一较佳实施例所述的机台占用率的计算方法的各步骤。
具体实施例方式
在半导体生产线，对于需要了解其处理过程并快速得到处理结果的特殊 批货来说，若能在进行处理流程之前，事先在各个站点中预约适于使用的机 台，势必能减少等待时间并提高特殊批货的产能。本发明便是基于上述观点 进而发展出的一种机台预约方法。为了使本发明的内容更为明了，以下特举 实施例来做为本发明确实能够据以实施的范例。
以下的实施例是以芯片厂的生产线为例，说明如何在特殊批货到达某一 站点之前，事先预约处理特殊批货所需要的机台，据以缩短特殊批货的生产周期的详细步骤。为了方便说明，在以下的实施例中假设芯片厂的生产线具
有2个站点(分别为第一站点及第二站点)，而在各个站点中分别有3个机台 用以处理批货。然而上述站点及机台的数目仅是用以举例说明，并非用以限 定本发明。换言之，本发明可针对任意的站点及机台数目进行预约动作，在 此并不限制其范围。
在本实施例中，当每一批货通过各站点并处理完毕之后，负责处理这批
其中，处理周期表示机台从开始到处理完成一批货所需要的时间；而生产周 期则代表机台在连续处理批货的状态之下，生产一批货所需要的时间(即包 括传送批货所需要的时间)。
图1是依照本发明较佳实施例所绘示的机台预约方法的流程图。请参阅 图1,如步骤110所示，在准备处理批货之前，倘若经由特殊标记判断所欲 处理的批货为特殊批货，则根据历史记录中对应第一站点及第二站点中各个 机台的处理周期及生产周期，计算特殊批货分别在第一站点与第二站点的处 理时间。并根据传送机制及传送速率计算特殊批货由第一站点传送到第二站 点所需要的传送时间。
接着在步骤12Q中，依据上述处理时间及传送时间，预测特殊批货到达 每个站点的到站时间。在本实施例中，对于芯片厂内的每个站点，根据历史 记录取得位于各个站点上游的所有站点的处理时间，以及各站点上游的所有 相邻站点之间的传送时间，并以上述处理时间以及传送时间的总和来^:为特 殊批货到达每个站点的到站时间。以计算特殊批货到达第二站点的到站时间 为例，倘若根据历史记录计算特殊批货在第一站点所需要的处理时间为2小 时，而由第一站点传送至第二站点的传送时间为1小时，那么便可预测特殊 批货会在到达第一站点的3小时后到达第二站点。
在预测特殊批货的到站时间后，如步骤130所示，判断到站时间是否小 于最长预约时间。其中，最长预约时间的计算方式例如可以根据历史记录中 各个机台所对应的处理周期及生产周期，计算出芯片厂内机台最长的批货处 理时间，据以决定特殊批货的最长预约时间。判断到站时间是否小于最长预 约时间的目的在于避免不必要的预约动作，换句话说，惟有当到站时间小于 最长预约时间时，才需要进行接下来的机台预约动作。举例来说，若生产线 有站点A、站点B、及站点C这3个站点，假设特殊批货在站点B所需要的处理时间为8小时，而在站点C所需要的处理时间为2小时，由于当站点B在 处理一批货时，站点C可以处理4批其它批货，因此同时预约站点B及站点 C的机台便没有任何意义，反而可能因为占用其它批货使用机台的机会进而 影响产能。在另一个例子当中，假设特殊批货到达第一站点的时间为pm2: 50， 且特殊批货在第一站点的处理时间为3小时，而在第二站点的处理时间为1 小时，那么可以在第一站点处理批货一段时间之后(例如在pm4: 50时)再预 约第二站点中的机台。
接下来如步骤140所示，对于每个站点，以对应的到站时间与站点中每 个机台的机台状态，计算每个机台的占用率。图2是依照本发明较佳实施例 所绘示的机台占用率的计算方法的流程图。以计算第二站点的机台的占用率 为例，在步骤210中，若判断机台的状态为处理状态(即目前有其它批货正 在处理当中)，便如步骤220所示，以特殊批货的到站时间、此机台的剩余 处理时间，以及对应此机台的生产周期的平均值，来计算此机台的占用率。 在本实施例中是以下列算式来计算器台的占用率 占用率=(Arrival—T-Remained—T) /Avg—TC 其中，Arrival-T表示到站时间，Remained-T是剩余处理时间，而Avg_TC 则为机台的生产周期的平均值。剩余处理时间例如是以历史记录中对应此机 台的处理周期的平均值以及目前时间的差值来计算之。
举例来说，倘若在第二站点中具有机台X、机台Y，及机台Z三个机台， 且经过上述步骤已计算出特殊批货将在3小时后到达第二站点。其中，机台 X处理批货已经经过3小时，机台Y已经处理2小时，而机台Z已经处理1 小时。倘若第二站点的处理周期的平均值为4小时，那么表示对机台X来说 需要经过1小时(即4-3)后才会有批货处理完毕；机台Y则还需要2小时 (即4-2)才能将目前所处理的批货处理完毕；而机台Z则是要在3小时后 (即4-1)才能闲置下来。布i设第二站点的生产周期平均值为4小时，那么 通过上述算式可以计算出机台X、机台Y，与机台Z所分别对应的占用率为 1/2、 1/4，及0。
图3是依照本发明另一较佳实施例所绘示的机台占用率的计算方法的流 程图。在本实施例中，如步骤31G所示，倘若机台目前没有在处理任何批货， 也就是说机台状态为闲置状态，那么如步骤320所示，以特殊批货的到站时 间、机台的处理周期的最大值，以及机台的生产周期的平均值，据以计算器
8台的占用率。在本实施例中是以下列算式来计算器台的占用率 占用率=(Arrival—T Max_TM) /Avg一TC 其中，Arrival_T表示特殊批货的到站时间，Max_TM是机台的处理周期 的最大值，而Avg-TC则为机台的生产周期的平均值。以机台的处理周期的最 大值做为计算其占用率的参数的原因在于当机台状态为闲置时，在不知道 什么时候会有批货到达站点并且通过此机台进行处理的情况之下，最大的处
请回到图1的步骤150，在根据机台状态与到站时间计算出各站点中每 个机台的占用率后，根据占用率来进行机台的预约动作。在本实施例中，将 预约具有最小的占用率且占用率小于1的机台来做为处理特殊批货的用途。 更近一步来说，机台所对应的占用率越小，表示预约此机台后，机台闲置下 来等待特殊批货到达的闲置时间越短。倘若机台的占用率为0，即表示在特 殊批货到达站点时，此机台刚好处理完毕一批货，进而能接着对特殊批货进 行处理，据此将能使机台达到最佳的产能。
在另一实施例中，除了根据机台的占用率来预约机台之外，更可以根据 机台本身的机台特性来判断是否要预约此机台。举例来说，某些特殊批货可
能需要具有处理化学药品能力的机台，因此在预约机台时除了选择具有较小 的占用率的机台之外，还必须判断机台是否具备处理特殊批货所需要的能力。
值得一提的是，上述预约动作是以机台的加载端口为单位来进行预约。 也就是说，被预约的机台将保留特定的加载端口以等待特殊批货到达站点， 而其它尚未被预先保留的加载端口仍然可用来处理一般批货，因此本发明所 述的机台预约方法并不会影响 一般批货的处理流程。
接着如步骤160所示，当特殊批货到达站点时，便能够以先前所预约的 机台进行处理流程，而不需要再花费任何时间等待机台闲置。最后在步骤170 中，机台处理特殊批货的处理周期及生产周期也将一并记录于历史记录，以 随时更新历史记录。
在另一实施例中，倘若在处理批货的流程中发生任何异常(exception) 状况，在特殊批货尚未到达站点之前，均能针对此站点的机台预约进行更动， 并配合目前的情况重新进行预约，据此将不会对特殊批货的生产计划造成负 面的影响。
综上所述，本发明所述的机台预约方法至少具有下列优点1. 通过事先预约机台的方式，在特殊批货到达站点时快速顺畅地进行处 理，据此减少特殊批货的生产周期。
2. 以机台的加载端口做为预约单位，据以提高机台产能，同时将不会对 一般批货的生产状况造成不良影响。
3. 在处理流程中可依照处理流程的现况对预约结果进行调整，进而使得 特殊批货的处理流程变的更有弹性。
虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本发明，任何 所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作 些许的更动与润饰，因此本发明的保护范围当视本发明申请专利范围所界定 者为准。
权利要求
1. 一种机台预约方法，该方法包括下列步骤根据一历史记录计算一特殊批货在每一站点的一处理时间及相邻站点之 间的一传送时间；依据所述处理时间及所述传送时间，预测该特殊批货到达每一所述站点 的一到站时间；对于每一所述站点，以对应的该到站时间与该站点中每一机台的一才几台 状态，计算每一所述机台的一占用率；以及 根据所述占用率预约所述机台其中之一 。
2. 如权利要求1所述的机台预约方法，其中，该历史记录包括每一所述 机台每次处理批货的一处理周期及一生产周期，而计算该特殊批货在每一所 述站点的该处理时间的步骤包括根据该站点的每一所述机台的所述处理周期及所述生产周期计算该处理 时间。
3. 如权利要求1所述的机台预约方法，其中，计算该特殊批货在相邻站点之间的该传送时间的步骤包括根据一传送机制及一传送速率计算该传送时间。
4. 如权利要求1所述的机台预约方法，其中，预测该特殊批货到达每一 所述站点的该到站时间的步骤包括对于每一所述站点，以位于该站点上游的所有站点的该处理时间，以及 位于该站点上游的所有相邻站点之间的该传送时间的总和做为该到站时间。
5. 如权利要求1所述的机台预约方法，其中，在预测该特殊批货到达每 一所述站点的该到站时间的步骤之后更包括判断该到站时间是否小于 一 最长预约时间。
6. 如权利要求1所述的机台预约方法，其中，该历史记录包括每一所述 机台每次处理批货的一处理周期及一生产周期，而计算每一所述机台的该占 用率的步骤包括判断该^U台状态为一处理状态；以及根据该到站时间、 一剩余处理时间，与该机台的所述生产周期的平均值，计算该占用率。
7. 如权利要求6所述的机台预约方法，其中，计算该占用率的步骤包括 计算该占用率- ( Arrival-T-Remained-T ) /Avg—TC，其中，Arrival—T表示该到站时间，Remained—T表示该剩余处理时间，而Avg_TC表示所述生产周期的平均值。
8. 如权利要求6所述的机台预约方法，更包括以该机台的所述处理周期及一 目前时间计算该剩余处理时间。
9. 如权利要求1所述的机台预约方法，其中，该历史记录包括每一所述 机台每次处理批货的一处理周期及一生产周期，而计算每一所述机台的该占 用率的步骤包括判断该机台状态为一闲置状态；以及根据该到站时间、该机台的所述处理周期的最大值，与该机台的所述生 产周期的平均值，计算该占用率。
10. 如权利要求9所述的机台预约方法，其中，计算该占用率的步骤包括 计算该占用率=(Arrival—T Max —TM) /Avg—TC,其中，Arrival—T表示该到站时间，Max—TM表示所述处理周期的最大值，而Avg-TC表示所述生产 周期的平均值。
11. 如权利要求1所述的机台预约方法，其中，根据所述占用率预约所述 机台其中之一 的步骤包括预约具有最小的该占用率且该占用率小于1的该^L台。
12. 如权利要求1所述的机台预约方法，其中，根据所述占用率预约所述 机台其中之一 的步骤更包括根据每一所述机台的一机台特性，预约所述机台其中之一。
13. 如权利要求1所述的机台预约方法，其中，在预约所述机台其中之一 的步骤之后更包括当该特殊批货到达该站点时，以预约的该机台处理该特殊批货；以及 将预约的该机台处理该特殊批货的一处理周期及一生产周期记录于该历 史记录。
全文摘要
一种机台预约方法，本发明是根据历史记录预测特殊批货到达站点的时间，并同时根据此到站时间以及站点中各个机台的状态，来预约适于处理特殊批货的机台，从而避免特殊批货到达站点后等待机台闲置所耗费的时间，据以缩短特殊批货的生产周期。
文档编号H01L21/00GK101311860SQ200710105048
公开日2008年11月26日 申请日期2007年5月22日 优先权日2007年5月22日
发明者吴德龙, 张世昌, 伟 程 申请人:力晶半导体股份有限公司