技术编号:7232145
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种介电层与薄膜晶体管,且特别是涉及一种高质量的介电层以及具有此介电层的薄膜晶体管。背景技术 在众多平面显示器中,具有高画质、空间利用效率佳、低消耗功率、无辐射等优越特性的薄膜晶体管液晶显示器(Thin Film Transistor LiquidCrystal Display,TFT LCD),已成为显示器领域中的主流。特别是,在薄膜晶体管液晶显示器的制作时,高质量的栅绝缘膜成膜技术是影响薄膜晶体管的组件特性。在公知的一种多晶硅薄膜晶体管的工艺...
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