技术编号:7234638
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。硅片装卸鍾技术领膝本发明涉及晶維太阳能电池f鹏^中的一种工装夹具,尤鄉及晶^tt阳能电,面,ijf中用于硅片存取的^a。背景技术在晶^5i太阳能电池生产过程中,都需在晶体硅太阳能电^^面帝恪一MMM^膜, 现在流行的工艺,PECVD方法在硅片表面镀覆一层氮化5M,国内使用的PECVD设 备多数是德国roth-mu公司^的平fe^PECVD设备。在该设备中用T^^硅片itfi^ 膜的X^为石驗,其结构如附图1~2戶标,它为一个板状的鹏结构,在板状框架上 等间...
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