专利名称：硅片装卸装置的制作方法
硅片装卸鍾技术领膝本发明涉及晶維太阳能电池f鹏^中的一种工装夹具，尤鄉及晶^tt阳能电,面,:ijf中用于硅片存取的^a。
背景技术：
在晶^5i太阳能电池生产过程中，都需在晶体硅太阳能电^^面帝恪一MMM^膜， 现在流行的工艺，PECVD方法在硅片表面镀覆一层氮化5M，国内使用的PECVD设 备多数是德国roth-mu公司^的平fe^PECVD设备。在该设备中用T^^硅片itfi^ 膜的X^为石驗，其结构如附图1~2戶标，它为一个板状的鹏结构，在板状框架上 等间跟也设有36个方孔2，孔与孑Lt间由筋条3隔开，四周边1形^1架，方孔2用于 腿硅片，在*方孔2的左右两侧各设有限位钩4，它们能限定硅片上下、左右的自 由度； 后两侧各设有两根限{雄5，用于P艮定硅片前后方向哼自由度。方孔2的大 小与硅片相对应，在齡方孔内方i(A—片硅片，放满后3MI架上的f爐6滑入鄉莫设 备进行鄉莫，这种石斷在硅片的方M^出时，操作员都必须细心i細吸笔^^他手 工工具准确操作，稍不留意硅片就会与框架磨擦，导致硅片四周缺口，严重时会使硅片 ，这是硅片^r:序中的产，品太多的一个工序，它，响晶体硅太阳能电池生产^的主要因素之一。
发明内容
为划艮现有石^^在存取硅片时所存在的，不足，本发明提供了一种与石m配 套使用的硅片装卸装置。它与现有石 配套使用，不仅简化了硅片在石 上的存取，避免硅片与框架之间的摩擦，大幅度陶氐了硅片在取方i(31程中所产生的缺口或碎裂， 提高了硅片在PECVD工序中的成品率，斷氐了妒駄，提高了妒效率。
本发明戶;f^硅片装卸紫置由底板21、石 定位块22、顶 B十23乡賊，石驗定 位块22固定 板21上，在石TO定位块22与/^l反21之间设有与滑轨6相对应的滑 轨槽24，所述顶托针23分布^/g板21的上端面，在与石m上方孔2相对应的位置范 围内均匀分布若千根顶 B十23，当石墨舟安放在硅片装卸器上后顶托针23的高度略高 于石W的上端面。将石墨 ^在硅片装卸體上，石墨舟由石墨舟定位±央限位，固定 社的顶 撥十与石墨舟的方孔相对应，方孔中的硅片则由顶形十自动顶出；同样，硅片在存放时 可直接放在顶裕十上，当将石M^直升起后，硅片自动放在方孔内，这样不仅简化了 硅片在石墨舟上的存取，避免硅片与框架之间的摩擦，大幅度斷氐了硅片在取方勉程中 所产生的缺口或碎裂，提高了硅片在PECVD工序中的成品率，P射氐了^i^:，提高 了生产效率。
图l、图2为石墨舟的结构示意图；图l为石墨^)f舰图；图2为石墨舟的局部普舰图；图3为石墨舟与硅片装卸驢结合状态的示意图；图4是从图3状态取出石墨舟后硅片装卸装置的俯视图(局部)；其中l-四周边；2-方孔；3邻条；4-限位钩；5-限位丝；6~滑轨；21-底板；22-石墨舟定位块；23-顶撒24^滑车纖。具体实施旅下面结合附图執列说明本发明的具体实施方式
。实施例1:石墨舟的结构如附图1~2戶标，它为一个板状的職结构，在板状框架上等间距地设有36个方孔2，孑L与孑Lt间由筋条3隔开，四周边l形j^i架，方孔2用 于方燈硅片，在齡方孔2的左右两侧各设有限位钩4，它们能限定硅片上下、左右的 自由度；在前后两侧各设有两根限位丝5，用于限定硅片前后方向的自由度，方孔2的 大小与硅片相对应，在^方孔内方j(A—片硅片。戶;M硅片装卸，由底板21、两个石 定位块22、 一佰萄别根顶裕十23纟Mi， 两个石墨舟定位i央22分另個定械板21上左侧面和前面，在石辦定位±央22与底21之间设有与滑轨6相对应的滑鹏24， 一佰熟搬顶縱23分^H十六个单元，每 个单元由三根顶 B十23，它们呈等腰三角形分布，所有顶 B十23都固定S/^21的上 端面，^h单元由三根顶托针23与石m上方 L2相对应，当石 安放在硅片装卸器 上后顶 B十23的高度略高于石，的上端面。本发明的〗OT方法将石 "方 在硅片装卸^ 上，使石 的左侧面和前面分 别紧贴两个石IW定位块22，此时，石墨舟上的左右两滑轨6分别位于滑轨槽24内， 硅片装卸驢上顶报f能将石W3"方孔中的硅片则自动顶出；同样，硅片在存放时可直 接放在顶形十上，当将石墨鹏直升起后，硅片自动放在方孔内，这样不仅简化了硅片 在石墨舟上的存取，避免硅片与框粒间的摩擦，大幅度斷氏了硅片在m^姐程中所产 生的缺口或碎裂，提高了硅片在PECVD !0中的成品率，陶氐了妒駄，提高了生 产效率。祉例中，在齡方孔内设置了三^M等腰三角形分布的顶报十，在其内均匀设置 3根以上也可。
权利要求
1、一种硅片装卸装置，其特征是它由底板(21)、石墨舟定位块(22)、顶托针(23)组成，石墨舟定位块(22)固定在底板(21)上，在石墨舟定位块(22)与底板(21)之间设有与滑轨(6)相对应的滑轨槽(24)，所述顶托针(23)分布在底板(21)的上端面，在与石墨舟上方孔(2)相对应的位置范围内均匀分布若干根顶托针(23)，顶托针(23)的高度为当石墨舟安放在硅片装卸装置上后，顶托针(23)的高度略高于石墨舟的上端面。
2、 根据权利要求1所述硅片装卸装置，其特征是在与石墨舟上方孔(2) 相对应的位置范围内均匀分布3根以上顶托针(23)。
全文摘要
一种硅片装卸装置，它由底板、石墨舟定位块、顶托针组成，石墨舟定位块固定在底板上，在石墨舟定位块与底板之间设有与滑轨相对应的滑轨槽，所述顶托针分布在底板的上端面，在与石墨舟上方孔相对应的位置范围内均匀分布若干根顶托针，当石墨舟安放在硅片装卸器上后顶托针的高度略高于石墨舟的上端面。它与现有石墨舟配套使用，不仅简化了硅片在石墨舟上的存取，避免硅片与框架之间的摩擦，大幅度降低了硅片在取放过程中所产生的缺口或碎裂，提高了硅片在PECVD工序中的成品率，降低了生产成本，提高了生产效率。
文档编号H01L21/67GK101165869SQ200710146210
公开日2008年4月23日 申请日期2007年8月29日 优先权日2007年8月29日
发明者刘志刚, 荀建华 申请人:荀建华;刘志刚