技术编号:7236331
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 吝,通过循环过滤蚀刻液,一iil^去蚀刻液中的废弃物等异物,一i^续进行蚀刻液的再生方法,蚀刻方法及蚀刻装置絲领域本发明涉及蚀刻氮^^所使用的蚀刻液(磷酸水溶液)的再生方法,蚀 刻方法及蚀刻装置,特别是,涉及有效除去在蚀刻处理产生的蚀刻液中含有的 硅^^ (氮^^^酸的>^产物)的技术。背景狄在^t^J^等的批量生产线上的蚀刻处理中,为了^##内的蚀刻液的清洁, 蚀刻,循环i^虑蚀刻液,使蚀刻液中析出的硅4b^和^W物""^iti!1, ^ft,并...
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