闪存器件以及形成该器件的方法技术资料下载

技术编号:7239117

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本发明涉及一种半导体器件,更特别地,涉及一种闪存器件以及形 成该器件的方法。背景技术诸如闪存器件的半导体器件具有非易失特性,其中,尽管停止供电, 仍可以保留所存储的数据。闪存器件能电写入和擦除数据。闪存器件可 根据电隔离的浮栅(floating gate)中电荷的存在使用晶体管类型单元的 阈值电压差存储数据。意思是,可通过在浮栅中存储电荷或者从浮栅释 放电荷来存储逻辑电平"0"和逻辑电平"1"。为了实现高度集成,可以多种结构改变构成闪存器件的单位图案, 以...
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