技术编号：7239178
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及对半导体晶片及液晶显示装置用的玻璃基板 (以下简称为基板)实施清洗、干燥等规定处理的基板处理装置及其 控制装置，特别涉及在执行处理之前预先生成时序表的技术。背景技术当前，作为这种装置，可以举出下述装置，即，在由具有用于 对基板实施处理的多个处理部的基板处理装置对多个批次进行处理 时，控制部根据包括多个处理工序在内的工艺处方，为了由各处理部 依次处理各个批次而确定各批次的处理顺序(例如参照专利文献1)。这种基板处理装置，由于在实际开始对批次的处...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。