技术编号:7239825
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及带有微透镜的固体摄像元件和其制造方法。背景技术作为在基板上形成微透镜的方法,已经研究了各种方法。作为第I方法,熟知以下方法(熔化法,melt method)在图像传感器的受光部滤色片上形成感光性的透镜用热塑性树脂层,将该树脂层使用具有规定图案的光掩模进行曝光,显影后在与各受光部对应的位置上形成圆柱状的抗蚀剂图案层,接下 来实施热塑性树脂的软化点以上的加热处理,使树脂热流动,由此在图案层的边缘部产生液下淌,从而形成凸透镜。作为第2方法,已知以下方法...
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