用于制造压电多层器件的方法和压电多层器件的制作方法技术资料下载

技术编号:7240946

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说明一种用于制造压电多层器件的方法,其中由压电未烧结膜和电极材料制成的层来形成堆叠并对该堆叠进行烧结。此外说明一种压电多层器件,其具有由经过烧结的压电层和设置在压电层之间的内电极形成的堆叠。这种多层器件例如是可以在汽车中用于操纵喷油嘴的压电执行器。背景技术压电多层器件的可靠性取决于对可能在制造所述压电多层器件时出现的裂缝的掌握。这样的裂缝例如可能在如烧结、金属化和焊接的热过程期间或在极化时出现,因为由于在器件的不同区域中的不同膨胀产生弹性应力。这样的所谓伸...
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