技术编号：7242347
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明的实施例中提供用于减小纳米线晶体管中的寄生电阻的触点技术和配置。在一实施例中，装置包括半导体衬底、在半导体衬底上形成的隔离层、包括纳米线材料的形成在隔离层上以为晶体管提供沟道的沟道层、以及与沟道层耦合的触点，该触点被配置为在至少一个平面维度上包围沟道层的纳米线材料且为晶体管提供源极端或漏极端。专利说明用于减小纳米线晶体管中的寄生电阻的触点技术和配置 [0001] 本发明实施例通常涉及集成电路领域，且更具体地，涉及用于减小纳米线晶体管 中的寄生电...
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