技术编号:7244316
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明的具体实施例大体上涉及半导体基材处理装备。具体而言,本发明涉及用以改良处理腔室内的制程气体流的设备及方法。背景技术超大型积体(UltraLarge Scale Integrated Circuit, ULSI)电路可在诸如娃(Si)基材等半导体基材上,形成超过一百万个电子装置(例如,晶体管),并相互合作执行多种功能。ULSI电路中使用的电子装置的实例为互补金属氧化物半导体(CMOS)场效应晶体管。CMOS晶体管具有栅极结构,其包含多晶硅栅极以与门极介...
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